互创(无锡)新材料有限公司李惠龙获国家专利权
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龙图腾网获悉互创(无锡)新材料有限公司申请的专利一种静电吸盘快速排气结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223241865U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422334491.5,技术领域涉及:F16B47/00;该实用新型一种静电吸盘快速排气结构是由李惠龙;肖明设计研发完成,并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电吸盘快速排气结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种静电吸盘快速排气结构,其包括反应仓,所述反应仓内部设置有空腔,所述空腔内部设置有静电吸盘,所述静电吸盘内部设置有吸气孔,所述吸气孔内部设置有吸气管,所述吸气管下表面固定连接有真空发生器,所述真空发生器内部设置有排气孔,所述排气孔内部设置有排气管,所述排气管远离真空发生器的一端固定连接有连接管,所述连接管上表面固定连接有排气装置,所述排气装置下表面固定连接有消音网,所述消音网下表面固定连接有消音筒。通过上述结构,实现对静电吸盘气体的连通,实现静电吸盘上圆片的吸附,实现降低因排气时产生的噪音。
本实用新型一种静电吸盘快速排气结构在权利要求书中公布了:1.一种静电吸盘快速排气结构,其特征在于,包括:反应仓2,所述反应仓2内部设置有空腔3,所述空腔3内部设置有静电吸盘6,所述静电吸盘6内部设置有吸气孔7,所述吸气孔7内部设置有吸气管8,所述吸气管8下表面固定连接有真空发生器9,所述真空发生器9内部设置有排气孔13,所述排气孔13内部设置有排气管14,所述排气管14远离真空发生器9的一端固定连接有连接管15,所述连接管15上表面固定连接有排气装置,所述排气装置下表面固定连接有消音网18,所述消音网18下表面固定连接有消音筒16。
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