深圳市海目芯微电子装备科技有限公司蒋绍毅获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市海目芯微电子装备科技有限公司申请的专利掩模板运动机构及曝光机设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223244973U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422332759.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型掩模板运动机构及曝光机设备是由蒋绍毅;江舒航;霍荣标设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩模板运动机构及曝光机设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种掩模板运动机构及曝光机设备，涉及光刻机技术领域。其中掩模板运动机构包括用于承载并安装掩模板的掩模板支架、背板及底座，掩模板支架沿竖直方向滑动设置于背板上；背板设置于底座上，底座用于与曝光机对位平台连接；还包括抵触组件与压合组件，所述抵触组件用于对掩模板支架施加向下的力，使所述掩模板压紧至待加工产品上；压合组件用于将所述掩模板与待加工产品全贴合。使得掩膜与产品之间可以通过不同的对位结合方式对产品进行加工。本实用新型具有增大曝光机设备的适用范围的效果。
本实用新型掩模板运动机构及曝光机设备在权利要求书中公布了：1.一种掩模板运动机构，其特征在于，包括： 掩模板支架，所述掩模板支架用于承载并安装掩模板； 背板，所述背板竖向设置，所述掩模板支架沿竖直方向滑动设置于所述背板上； 底座，所述背板设置于所述底座上，所述底座用于与曝光机对位平台连接； 抵触组件，所述抵触组件设置于所述背板上并与所述掩模板支架连接，所述抵触组件用于对掩模板支架施加向下的力，使所述掩模板抵触至待加工产品上； 压合组件，所述压合组件设置于所述掩模板支架上，所述压合组件用于将所述掩模板与待加工产品全面贴合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市海目芯微电子装备科技有限公司，其通讯地址为：518110 广东省深圳市龙华区观湖街道鹭湖社区高新园区观盛四路7号翰宇创新产业大楼B栋901；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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