北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司张文慧获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种管路系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223242553U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422311084.2,技术领域涉及:F17D3/01;该实用新型一种管路系统是由张文慧;焦涵;马一楠;杜亮设计研发完成,并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种管路系统在说明书摘要公布了:本申请提供一种管路系统,包括主管路、至少一个支管路、用于连通所述支管路与所述主管路的至少一个第一导向管以及用于将所述主管路中的液体排放至第一储液容器的第二导向管,所述第二导向管的第一端与所述主管路密封连接,所述第二导向管的第二端用于将所述液体排放至第一储液容器。所述支管路的第二端都高于所述支管路的第二端通过所述第一导向管连接的所述连接口,所述第二导向管的第二端低于所述第二导向管的第一端,流入所述第一导向管以及所述第二导向管的液体可在重力作用下流出所述第一导向管以及所述第二导向管的液体,避免了液体在所述第一导向管以及所述第二导向管内残留积聚。
本实用新型一种管路系统在权利要求书中公布了:1.一种管路系统,用于工艺腔室内的液体排放,其特征在于,包括: 主管路,所述主管路的第一端与所述工艺腔室的多个排液口中任意一个排液口密封连接,以及所述主管路上设置至少一个连接口; 至少一个支管路,所述支管路的第一端与所述排液口密封连接,所述支管路的第二端通过第一导向管与所述连接口密封连接,其中,所述支管路的第二端高于所述连接口;以及 第二导向管,所述第二导向管的第一端与所述主管路的第二端密封连接,所述第二导向管的第二端用于将所述液体排放至第一储液容器,以及所述第二导向管的第二端低于所述第二导向管的第一端。
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