吾拾微电子(苏州)有限公司万士元获国家专利权
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龙图腾网获悉吾拾微电子(苏州)有限公司申请的专利一种手持式晶圆吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223245589U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422291596.7，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种手持式晶圆吸附装置是由万士元;钱彪;沈达;薛亚玲设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种手持式晶圆吸附装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种手持式晶圆吸附装置，包括：通气组件，包括通气外壳和开关件，通气外壳具有与外部气源连通的通气通道，通气外壳包括把手部和与把手部两端连接的连接外壳，开关件设置在把手部上，用于打开或关闭通气通道；吸附组件，设置在把手部的下方，且两端分别与连接外壳连接，吸附组件具有出气通道和与分布在吸附组件轴线方向两侧的两组出气口，两组出气口均与出气通道连通，每组出气口均匀间隔设置，气流自两组出气口朝向吸附组件的两侧吹出。由于整个装置为手持式设计，相较于传统的大型固定装置，极大地提高了操作人员在不同工位之间移动晶圆的便捷性和工作效率。
本实用新型一种手持式晶圆吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种手持式晶圆吸附装置，其特征在于，包括： 通气组件，包括通气外壳和开关件，所述通气外壳具有与外部气源连通的通气通道，所述通气外壳包括把手部和与所述把手部两端连接的连接外壳，所述开关件设置在所述把手部上，用于打开或关闭所述通气通道； 吸附组件，设置在所述把手部的下方，且两端分别与所述连接外壳连接，所述吸附组件具有出气通道和与分布在所述吸附组件轴线方向两侧的两组出气口，两组所述出气口均与所述出气通道连通，每组所述出气口均匀间隔设置，气流自两组出气口朝向所述吸附组件的两侧吹出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人吾拾微电子(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州工业园区苏虹西路181号I幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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