吾拾微电子(苏州)有限公司万士元获国家专利权
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龙图腾网获悉吾拾微电子(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆顶升吸附机构及晶圆处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223245590U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422291597.1，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆顶升吸附机构及晶圆处理设备是由万士元;钱彪;沈达;薛亚玲设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆顶升吸附机构及晶圆处理设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆顶升吸附机构及晶圆处理设备，晶圆顶升吸附机构包括：驱动组件；偏心辊轮，与驱动组件连接；顶升组件，包括安装板、若干导向杆、顶升板以及与顶升板连接的若干顶针，顶升板位于偏心辊轮上方，驱动组件能够驱动偏心辊轮转动以带动顶升板上下移动，从而带动顶针上下移动；吸附加热组件，位于顶升板上方，吸附加热组件设置有若干通孔，若干顶针穿过若干通孔设置。由于偏心辊轮的旋转中心位于非几何中心上，其产生的作用力并非瞬时且恒定的，而是随着旋转角度的变化而变化，当旋转至其上下运动极限位置附近时减速度减小，速度减缓，从而可以减少对顶针的冲击和磨损，具有一定的缓冲作用，进而保证顶针上晶圆的稳定性。
本实用新型一种晶圆顶升吸附机构及晶圆处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆顶升吸附机构，其特征在于，包括： 驱动组件； 偏心辊轮，包括偏心轴，所述偏心轴与所述驱动组件连接； 顶升组件，包括安装板、安装在所述安装板上的若干导向杆、与所述导向杆适配的顶升板以及与所述顶升板连接的若干顶针，所述顶升板位于所述偏心辊轮上方，所述驱动组件能够驱动所述偏心辊轮转动以带动所述顶升板上下移动，从而带动所述顶针上下移动； 吸附加热组件，位于所述顶升板上方，用于承接吸附晶圆，所述吸附加热组件设置有若干通孔，若干所述顶针穿过若干所述通孔设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人吾拾微电子(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州工业园区苏虹西路181号I幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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