上海正帆科技股份有限公司胡加凯获国家专利权
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龙图腾网获悉上海正帆科技股份有限公司申请的专利一种气相供应的装置系统及包含其的气相沉积装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223240159U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422273548.5,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种气相供应的装置系统及包含其的气相沉积装置是由胡加凯;崔曙明设计研发完成,并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相供应的装置系统及包含其的气相沉积装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种气相供应的装置系统及包含其的气相沉积装置,所述装置系统包括通过液相输送管路依次连接的原料供应单元、原料预控制单元、缓冲单元和汽化单元,所述装置系统还包括与汽化单元相连的气体输送管路;所述装置系统还包括单独与所述汽化单元相连的载气供应单元;所述装置系统还包括电控系统,所述电控系统与所述装置系统中全部电路相连,用于控制所述装置系统。本实用新型通过能够实现自动补料、连续汽化,且流量可控性高,应用前景广阔。
本实用新型一种气相供应的装置系统及包含其的气相沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种气相供应的装置系统,其特征在于,所述装置系统包括通过液相输送管路依次连接的原料供应单元、原料预控制单元、缓冲单元和汽化单元,所述装置系统还包括与汽化单元相连的气体输送管路; 所述装置系统还包括单独与所述汽化单元相连的载气供应单元; 所述装置系统还包括电控系统,所述电控系统与所述装置系统中全部电路相连,用于控制所述装置系统。
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