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安徽国芯智能装备有限公司王运钢获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽国芯智能装备有限公司申请的专利一种光刻机相机位置调节机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223244972U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422276924.6,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种光刻机相机位置调节机构是由王运钢;薛业保;章广飞;李文静设计研发完成,并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种光刻机相机位置调节机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种光刻机相机位置调节机构,包括条形座、对称固定于条形座内壁的导向条,所述导向条的数量为四个,两两对称分布,所述导向条之间滑动插设有插板,所述插板底部固定连接有齿条,所述条形座内壁之间通过驱动轴转动设置有动力齿轮,所述插板端部固定连接有支撑框,所述支撑框内通过转轴转动设置有定位条,所述定位条端部固定连接有相机。本实用新型中,启动第一电机,带动蜗杆转动,蜗杆带动蜗轮转动,蜗轮通过驱动轴带动动力齿轮转动,动力齿轮通过齿条带动插板直线位移,插板带动其端部设置的相机进行直线移动,从而对其位置进行调节,相对于手动调节,更加方便快速。

本实用新型一种光刻机相机位置调节机构在权利要求书中公布了:1.一种光刻机相机位置调节机构,其特征在于:包括条形座1、对称固定于条形座1内壁的导向条2,所述导向条2的数量为四个,两两对称分布,所述导向条2之间滑动插设有插板3,所述插板3底部固定连接有齿条4,所述条形座1内壁之间通过驱动轴5转动设置有动力齿轮6,所述插板3端部固定连接有支撑框10,所述支撑框10内通过转轴16转动设置有定位条11,所述定位条11端部固定连接有相机12。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽国芯智能装备有限公司,其通讯地址为:230051 安徽省合肥市包河经济开发区重庆路与兰州路交叉口中关村协同创新智汇园D3栋1楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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