上海正帆科技股份有限公司胡加凯获国家专利权
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龙图腾网获悉上海正帆科技股份有限公司申请的专利二氯二氢硅气相充装柜及气相充装系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223242523U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422261186.8,技术领域涉及:F17C6/00;该实用新型二氯二氢硅气相充装柜及气相充装系统是由胡加凯设计研发完成,并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本二氯二氢硅气相充装柜及气相充装系统在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体气体充装技术领域,公开了一种二氯二氢硅气相充装柜及气相充装系统。该二氯二氢硅气相充装柜包括柜体、冷却装置、第一主管路和若干个钢瓶,柜体内部具有密闭的第一腔体;若干个钢瓶排列设置于第一腔体内;冷却装置设置于柜体并与第一腔体换热连接,并用于对第一腔体内的钢瓶冷却降温;第一主管路设置于第一腔体内,第一主管路连通设置有若干个第一分管路,第一分管路一一对应连通于钢瓶,第一主管路用于与气相二氯二氢硅容器连通。该二氯二氢硅气相充装柜能够实现同时向多个钢瓶充装气相的二氯二氢硅,提高充装效率,并且使用气相的充装方法,保证钢瓶内的物质纯度满足使用需求。
本实用新型二氯二氢硅气相充装柜及气相充装系统在权利要求书中公布了:1.二氯二氢硅气相充装柜,其特征在于,包括: 柜体100,所述柜体100内部具有密闭的第一腔体101; 若干个钢瓶200,若干个所述钢瓶200排列设置于所述第一腔体101内; 冷却装置300,所述冷却装置300设置于所述柜体100并与所述第一腔体101换热连接,并用于对所述第一腔体101内的所述钢瓶200冷却降温; 第一主管路400,所述第一主管路400设置于所述第一腔体101内,所述第一主管路400连通设置有若干个第一分管路410,所述第一分管路410一一对应连通于所述钢瓶200,所述第一主管路400用于与气相二氯二氢硅容器连通。
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