合肥芯投微电子有限公司苏建立获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯投微电子有限公司申请的专利一种晶圆镀锅装载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223245594U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422245364.8，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆镀锅装载台是由苏建立;周宏伟设计研发完成，并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆镀锅装载台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆镀锅装载台，涉及加工设备技术领域。具体包括：支撑底座；至少三根支撑螺杆，各个支撑螺杆的第一端连接于所述支撑底座上且不处于同一直线上；转动螺母，设于所述支撑螺杆上，并可沿所述支撑螺杆的长度方向往复运动；支撑平台，所述支撑平台上设有可供所述支撑杆穿过的过孔，当所述支撑螺杆穿过所述过孔时，所述支撑平台抵接于所述转动螺母的顶部；以及转动件，设于所述支撑平台上，用于支撑待放置件，并可带动所述待放置件转动。旨在在实现装载台通用性的前提下，简化装载台的升降结构，降低装载台的生产成本。
本实用新型一种晶圆镀锅装载台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆镀锅装载台，其特征在于，包括： 支撑底座； 至少三根支撑螺杆，各个支撑螺杆的第一端连接于所述支撑底座上且不处于同一直线上； 转动螺母，设于所述支撑螺杆上，并可沿所述支撑螺杆的长度方向往复运动； 支撑平台，所述支撑平台上设有可供所述支撑螺杆穿过的过孔，当所述支撑螺杆穿过所述过孔时，所述支撑平台抵接于所述转动螺母的顶部；以及 转动件，设于所述支撑平台上，用于支撑待放置件，并可带动所述待放置件转动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯投微电子有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁社区服务中心菖蒲路2680号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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