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昆山彰盛奈米科技有限公司徐志淮获国家专利权

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龙图腾网获悉昆山彰盛奈米科技有限公司申请的专利一种化学气相沉积CVD反应腔获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223240158U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422120363.0,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型一种化学气相沉积CVD反应腔是由徐志淮;乔静;胡道建设计研发完成,并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种化学气相沉积CVD反应腔在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种化学气相沉积CVD反应腔,涉及微型风扇定子涂层制备技术领域,包括支撑台和密封组件,所述支撑台下表面安装有支撑架,且支撑台上表面安装有反应腔室,所述密封组件设置于支撑台表面,且密封组件包括下连接板、定位孔、环状密封槽、密封环、密封盖体、上连接板、定位杆和固定环,所述下连接板设置于反应腔室上端两侧,且下连接板表面开设有定位孔,所述反应腔室上表面开设有环状密封槽。该化学气相沉积CVD反应腔,通过密封组件使得该装置可对反应腔室进行密封,且密封性强不易发生泄漏现象,通过加热组件使得该装置可在持续加热的过程中对反应腔室进行散热,防止反应腔室热量过高而造成损坏。

本实用新型一种化学气相沉积CVD反应腔在权利要求书中公布了:1.一种化学气相沉积CVD反应腔,包括支撑台1和密封组件4,其特征在于:所述支撑台1下表面安装有支撑架2,且支撑台1上表面安装有反应腔室3,所述密封组件4设置于支撑台1表面,且密封组件4包括下连接板401、定位孔402、环状密封槽403、密封环404、密封盖体405、上连接板406、定位杆407和固定环408,所述下连接板401设置于反应腔室3上端两侧,且下连接板401表面开设有定位孔402,所述反应腔室3上表面开设有环状密封槽403,且环状密封槽403内侧卡合连接有密封环404,所述密封环404上表面安装有密封盖体405,且密封盖体405下端两侧设置有上连接板406。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人昆山彰盛奈米科技有限公司,其通讯地址为:215300 江苏省苏州市昆山市陆家镇杨家路9号艾达科技园;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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