昆山彰盛奈米科技有限公司徐志淮获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山彰盛奈米科技有限公司申请的专利一种CVD沉积炉装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223240161U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422114615.9，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种CVD沉积炉装置是由徐志淮;李艳;李红波设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD沉积炉装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种CVD沉积炉装置，涉及钢瓶内表面涂层技术领域，包括反应室和均热组件，所述反应室的下端设置有射频电源器，用于钢瓶加热均匀以便沉积的所述均热组件设置于反应室的内部，且均热组件包括旋转盘、限位架、安装槽、加热丝、支撑架和电动推杆，所述旋转盘上方的两侧设置有限位架，且限位架的表面开设有安装槽。该一种CVD沉积炉装置通过旋转盘用于钢瓶的底部支托的同时在电机的驱动下带动钢瓶运输转动，使得钢瓶内表面加热丝的加热下受热均匀，以便后续的沉积处理，限位架在钢瓶瓶身侧边起到辅助限位的作用，避免钢瓶的倾倒，安装槽为加热丝提供安装空间，加热丝对钢瓶加热，使其内壁更好的进行沉积反应成膜。
本实用新型一种CVD沉积炉装置在权利要求书中公布了：1.一种CVD沉积炉装置，包括反应室1和均热组件3，其特征在于，所述反应室1的下端设置有射频电源器2，用于钢瓶加热均匀以便沉积的所述均热组件3设置于反应室1的内部，且均热组件3包括旋转盘301、限位架302、安装槽303、加热丝304、支撑架305和电动推杆306，所述旋转盘301上方的两侧设置有限位架302，且限位架302的表面开设有安装槽303，所述安装槽303的内部设置有加热丝304，所述限位架302的外侧设置有支撑架305，且支撑架305的侧边安装有电动推杆306。
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