苏州富芯峰半导体设备有限公司乔涛涛获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州富芯峰半导体设备有限公司申请的专利一种复合式清洗槽冷却系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223234559U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422049333.5，技术领域涉及：B08B3/10；该实用新型一种复合式清洗槽冷却系统是由乔涛涛;乔小峰;陈林林;胡磊设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合式清洗槽冷却系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种复合式清洗槽冷却系统，其包括外壳、冷却组件和供液组件，其中：冷却组件和供液组件位于外壳里面，外壳被配置为承载冷却组件和供液组件；冷却组件包括冷水机、第一输液管和清洗槽，清洗槽包括第一储液部和第二储液部，第二储液部位于第一储液部内部且第二储液部外壁与第一储液部液体直接接触，冷却机被配置为对冷却液进行降温，第一输液管连接第一储液部上端和冷水机出口，第一输液管被配置为将冷水机输出的冷却液输送到第一储液部；供液组件包括第二输液管和第三储液部，通过第二输液管将第三储液部的清洗液输送至第二储液部，不仅实现了第一储液部的冷却液对清洗液降温，而且冷却液的冷却速度控制精确，改善了芯片的清洗效果。
本实用新型一种复合式清洗槽冷却系统在权利要求书中公布了：1.一种复合式清洗槽冷却系统，其特征在于，所述复合式清洗槽冷却系统包括外壳、冷却组件和供液组件，其中： 所述冷却组件和所述供液组件位于所述外壳里面，所述外壳被配置为承载所述冷却组件和所述供液组件； 所述冷却组件包括冷水机、第一输液管和清洗槽，所述清洗槽为双层结构，所述清洗槽包括第一储液部和第二储液部，所述第二储液部位于所述第一储液部内部且所述第二储液部外壁与所述第一储液部液体直接接触，所述冷水机被配置为对冷却液进行降温，所述第一输液管连接所述第一储液部上端和所述冷水机出口，所述第一输液管被配置为将所述冷水机输出的冷却液输送到第一储液部； 所述供液组件包括第二输液管和第三储液部，所述第三储液部被配置为盛放清洗液，所述第二输液管连接所述第三储液部和所述第二储液部，所述第二输液管被配置为将所述第三储液部的清洗液输送至第二储液部，使得第一储液部的冷却液对清洗液降温。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州富芯峰半导体设备有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市昆山开发区澄湖路58号12幢1楼车间北和1楼隔层北；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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