通威微电子有限公司刘伟杰获国家专利权
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龙图腾网获悉通威微电子有限公司申请的专利晶圆暂存架获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223245573U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422063674.8，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型晶圆暂存架是由刘伟杰设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆暂存架在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供了一种晶圆暂存架，涉及碳化硅晶圆加工技术领域。本实用新型实施例的晶圆暂存架包括主架体、存放格组件和多个支撑条。其中，存放格组件与主架体的底部连接，存放格组件具有多个存放槽，多个存放槽均用于承载晶圆的底部。多个支撑条均与主架体连接，多个支撑条与多个存放槽一一对应，每个支撑条均设置有支撑端，支撑端用于在晶圆的底部承载于存放槽的情况下对晶圆的侧壁面形成点接触的支撑。该晶圆暂存架能够实现腐蚀后晶圆的暂时存放，晶圆不会裂片。
本实用新型晶圆暂存架在权利要求书中公布了：1.一种晶圆暂存架，其特征在于，包括主架体100、存放格组件200和多个支撑条300； 所述存放格组件200与所述主架体100的底部连接，所述存放格组件200具有多个存放槽210，多个所述存放槽210均用于承载晶圆20的底部； 多个所述支撑条300均与所述主架体100连接，多个所述支撑条300与多个所述存放槽210一一对应，每个所述支撑条300均设置有支撑端310，所述支撑端310用于在所述晶圆20的底部承载于所述存放槽210的情况下对所述晶圆20的侧壁面形成点接触的支撑。
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