河北新立中有色金属集团有限公司李海军获国家专利权
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龙图腾网获悉河北新立中有色金属集团有限公司申请的专利一种晶圆片加工装卡机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223245593U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422056425.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆片加工装卡机构是由李海军;王建华;崔佳辉;李云飞;宗福春;胡增武;师梦;马静茹;于洋;左李庆设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆片加工装卡机构在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆片加工技术领域，尤其涉及一种晶圆片加工装卡机构，包括：设备固定座，设备固定座安装在晶圆加工设备中心；真空腔室，开设在设备固定座顶面，真空腔室连通有负压吸附组件；晶圆片固定座，安装在设备固定座上，与真空腔室密封配合；支撑件，底端与真空腔室底部内壁固接，支撑件顶端与晶圆片固定座的底部抵接；晶圆片支撑座，可拆卸连接在晶圆片固定座内，晶圆片支撑座上由圆心向外布设有若干弧形气道，弧形气道与真空腔室连通；退刀部，同轴套设在晶圆片支撑座外侧，退刀部开设在晶圆片固定座上。本装置的支撑杆可以对晶圆片固定座支撑防止晶圆片固定座变形，提高加工精度，若干弧形气道可以均匀吸附晶圆片，防止晶圆片变形。
本实用新型一种晶圆片加工装卡机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片加工装卡机构，其特征在于，包括： 设备固定座10，所述设备固定座10安装在晶圆加工设备中心； 真空腔室15，开设在所述设备固定座10顶面，所述真空腔室15连通有负压吸附组件； 晶圆片固定座16，安装在所述设备固定座10上，与所述真空腔室15密封配合； 支撑件12，底端与所述真空腔室15底部内壁固接，所述支撑件12顶端与所述晶圆片固定座16的底部抵接； 晶圆片支撑座18，可拆卸连接在所述晶圆片固定座16内，所述晶圆片支撑座18上由圆心向外布设有若干弧形气道，所述弧形气道与所述真空腔室15连通； 退刀部，同轴套设在所述晶圆片支撑座18外侧，所述退刀部开设在所述晶圆片固定座16上。
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