深圳市捷佳芯创科技有限责任公司侯佳林获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳芯创科技有限责任公司申请的专利一种蒸镀装置及应用其的镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223240149U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422046668.1，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种蒸镀装置及应用其的镀膜设备是由侯佳林;李剑超;许佩玲;谭伟强;籍龙占设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蒸镀装置及应用其的镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种蒸镀装置及应用其的镀膜设备，包括装置壳体；蒸发坩埚，设于装置壳体内腔中，用于容纳蒸镀物料；导热喷口板，设于内腔上部，导热喷口板间隔设置多个蒸汽喷口，蒸汽喷口正对蒸发坩埚顶部开口；上加热器，设于内腔中并贴合导热喷口板；下加热器，设于内腔底部并贴合蒸发坩埚底部。本实用新型提供的蒸镀装置可保证蒸发坩埚顶部和底部蒸镀物料均匀升温，促进蒸发坩埚内各处蒸发速率趋于一致；加热器布局可提高蒸发坩埚顶部蒸汽喷口处温度，同时蒸汽喷口采用文丘里管状口，提高物料蒸汽分子从蒸汽喷口喷出的速度；综上可提高从各蒸汽喷口喷出的物料蒸汽在基片表面流动的均匀性，保证蒸镀物料在基片形成的膜层的沉积厚度和均匀程度。
本实用新型一种蒸镀装置及应用其的镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括： 装置壳体1； 蒸发坩埚2，安装于所述装置壳体1的内腔11中部，用于容纳蒸镀物料； 导热喷口板3，安装于所述内腔11上部，所述导热喷口板3间隔设置多个蒸汽喷口4，且所述蒸汽喷口4正对所述蒸发坩埚2的顶部开口21； 上加热器5，安装于内腔11中并贴合于导热喷口板3； 下加热器6，安装于内腔11底部并贴合于蒸发坩埚2底部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市捷佳芯创科技有限责任公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号1栋捷佳伟创坪山产业园厂房五层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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