北京华丞电子有限公司尹萍获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华丞电子有限公司申请的专利射频电源及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223246555U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422050167.0，技术领域涉及：H03H7/38；该实用新型射频电源及半导体工艺设备是由尹萍设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本射频电源及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了射频电源及半导体工艺设备，射频电源包括：依次连接的驱动模块，功放模块和滤波模块；驱动模块用于输出驱动信号，功放模块用于在驱动信号的激励下，输出射频信号；滤波模块包括：第一滤波合成单元，其输入端与功放模块输出端连接，用于滤除射频信号中的干扰信号；第二滤波合成单元，其输入端与第一滤波合成单元输出端连接，用于对第一滤波合成单元输出的射频信号进行二次滤波；合成输出滤波单元，其输入端与第二滤波合成单元输出端连接，用于对所述第二滤波合成单元输出的射频功率进行补偿；通过本实用新型实施例可以在高驻波腔室阻抗频繁变换条件下可以稳定输出功率；从而可以保证刻蚀的均匀性及刻蚀效率。
本实用新型射频电源及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种射频电源，其特征在于，包括：依次连接的驱动模块，功放模块和滤波模块；所述驱动模块用于输出驱动信号，所述功放模块用于在所述驱动信号的激励下，输出射频信号；所述滤波模块包括： 第一滤波合成单元，其输入端与所述功放模块输出端连接，用于滤除所述射频信号中的干扰信号； 第二滤波合成单元，其输入端与所述第一滤波合成单元输出端连接，用于对所述第一滤波合成单元输出的射频信号进行二次滤波； 合成输出滤波单元，其输入端与所述第二滤波合成单元输出端连接，用于对所述第二滤波合成单元输出的射频功率进行补偿。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京华丞电子有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号院1号楼4层4S01；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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