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均豪精密工业股份有限公司徐玉杰获国家专利权

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龙图腾网获悉均豪精密工业股份有限公司申请的专利喷嘴获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223234057U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422035682.1,技术领域涉及:B05B1/00;该实用新型喷嘴是由徐玉杰;李孟轩;李政宪;李天立;周政叡;姜品谦设计研发完成,并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

喷嘴在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种喷嘴,连通晶圆盒底部的气孔,机台能通过喷嘴对晶圆盒充气或排气。喷嘴包括基座、连接部及承接部。基座包括基座本体、通气孔及嵌合部,通气孔贯设于基座本体,基座本体的内设置嵌合部,嵌合部套接于机台。承接部包括承接部本体、穿孔、内环及外环,承接部本体设置穿孔,穿孔连通通气孔,承接部本体经由连接部而连接基座,内环与外环设置于承接部本体的顶面,内环与外环对接晶圆盒。内环、外环、穿孔及通气孔分别以喷嘴的中心轴线为中心,外环的位置相对于内环的位置远离穿孔的位置,且最接近穿孔的内环的内环高度高于外环的外环高度。

本实用新型喷嘴在权利要求书中公布了:1.一种喷嘴,其用以设置于一机台,该机台用以承置一晶圆盒,而所述喷嘴能连通该晶圆盒底部的气孔,该机台能通过该喷嘴对该晶圆盒充气或排气,其特征在于,该喷嘴包括: 一基座,包括一基座本体、一通气孔、以及一嵌合部,该通气孔贯设于该基座本体,该基座本体的内部设置该嵌合部,该嵌合部用以套接设置于该机台; 一连接部;以及 一承接部,包括一承接部本体、一穿孔、一内环、以及一外环,该承接部本体设置一穿孔,且该穿孔连通该通气孔,该承接部本体的相对两端分别设置一底面与一顶面,该承接部本体的该底面经由该连接部而连接该基座,该内环与该外环分别设置于该承接部本体的该顶面,该内环与该外环用以对接该晶圆盒; 其中,该喷嘴定义有一中心轴线,该内环、该外环、该穿孔及该通气孔分别以该中心轴线为中心,该外环的位置相对于该内环的位置远离该穿孔的位置,且最接近该穿孔的该内环的一内环高度高于该外环的一外环高度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人均豪精密工业股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾新竹科学工业园区新竹县;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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