上海广川科技有限公司;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司李家璇获国家专利权
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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种具有晶圆偏移检测的机械手获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223236343U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422034666.0，技术领域涉及：B25J15/08；该实用新型一种具有晶圆偏移检测的机械手是由李家璇;武一鸣;刘恩龙;苗义;张山伟设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有晶圆偏移检测的机械手在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种具有晶圆偏移检测的机械手，其包括：手指件、第一臂架、第一调节组件、反射传感器、第二臂架、第二调节组件，其中所述第一臂架与第二臂架相叠设置，所述手指件尾端两侧延伸有支撑臂，以在所述支撑臂之间定义出检测口，各所述手指件经支撑臂分别连接在第一、第二臂架前端，所述反射传感器经第一、第二调节组件分别连接在第一、第二臂架上，并分布于各层手指件的检测口内及各支撑臂的外侧处，并与手指件基本平齐，其中各反射传感器的探测部，经第一、第二调节组件调整至与预设外圆尺寸相切的轨迹位置上。籍此以实现晶圆偏移检测的同时，满足多层机械手叠加设置的要求。
本实用新型一种具有晶圆偏移检测的机械手在权利要求书中公布了：1.一种具有晶圆偏移检测的机械手，其特征在于包括：手指件、第一臂架、第一调节组件、反射传感器、第二臂架、第二调节组件，其中所述第一臂架与第二臂架相叠设置，所述手指件尾端两侧延伸有支撑臂，以在所述支撑臂之间定义出检测口，各所述手指件经支撑臂分别连接在第一、第二臂架前端，所述反射传感器经第一、第二调节组件分别连接在第一、第二臂架上，并分布于各层手指件的检测口内及各支撑臂的外侧处，并与手指件基本平齐，其中各反射传感器的探测部，经第一、第二调节组件调整至与预设外圆尺寸相切的轨迹位置上。
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