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长川科技(苏州)有限公司刘桂林获国家专利权

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龙图腾网获悉长川科技(苏州)有限公司申请的专利平面度调整机构及晶圆检测载台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223244331U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421971184.1,技术领域涉及:G01N21/01;该实用新型平面度调整机构及晶圆检测载台是由刘桂林;杜振东;马永飞;徐焕;吴灿;徐益飞;姜家博设计研发完成,并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

平面度调整机构及晶圆检测载台在说明书摘要公布了:本申请涉及晶圆测试技术领域,提供了一种平面度调整机构及晶圆检测载台。该平面度调整机构包括安装基板、基准组件和调节组件:基准组件连接于安装基板;调节组件连接于安装基板,并与基准组件间隔布置,用于驱动安装基板在竖直方向上产生偏移量。本申请提供的平面度调整机构在实现平面度调整的基础上,保证调平后的位置在X向和Y向上不会偏离原始基准。

本实用新型平面度调整机构及晶圆检测载台在权利要求书中公布了:1.一种平面度调整机构,其特征在于,所述平面度调整机构100包括: 安装基板10; 基准组件20,连接于所述安装基板10; 调节组件30,连接于所述安装基板10,并与所述基准组件20间隔布置,用于驱动所述安装基板10在竖直方向上产生偏移量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长川科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园内E2E3-301单元;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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