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龙图腾网获悉芯慧联芯(苏州)科技有限公司申请的专利一种晶粒到晶圆的键合设备及键合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119050037B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411100262.5，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种晶粒到晶圆的键合设备及键合方法是由任潮群;王念;陈泳;崔建敏设计研发完成，并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶粒到晶圆的键合设备及键合方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶粒到晶圆的键合设备及键合方法，涉及半导体加工技术领域，设备包括：拾取机构，所述拾取机构包括固定支撑架以及水平设置在固定支撑架支撑端的拾取转盘，所述拾取转盘与固定支撑架支撑端的连接处设置水平旋转机构和Z向升降机构；所述拾取转盘的边缘周向设置若干拾取头，所述拾取头通过竖直翻转机构与拾取转盘活动连接；键合机构，所述键合机构包括Y向直线运动机构以及竖直设置在Y向直线运动机构上的键合轮盘，所述键合轮盘上设置竖直旋转机构，所述键合轮盘的边缘周向设置若干键合头，每个所述键合头上均设置直线运动执行机构。本发明提升了键合设备效率、提高了设备兼容性、降低了晶粒污染及破损风险，提高了生产良率。

本发明授权一种晶粒到晶圆的键合设备及键合方法在权利要求书中公布了：1.一种晶粒到晶圆的键合设备，其特征在于，包括： 拾取机构，所述拾取机构包括固定支撑架，以及水平设置在所述固定支撑架支撑端的拾取转盘，所述拾取转盘与所述固定支撑架支撑端的连接处设置水平旋转机构和Z向升降机构，使所述拾取转盘相对于所述固定支撑架支撑端可进行水平方向的旋转和竖直方向的直线运动；所述拾取转盘的边缘周向设置若干拾取头，所述拾取头通过竖直翻转机构与所述拾取转盘活动连接；所述拾取转盘整体位于取料平台的上方，使所述拾取头通过所述竖直翻转机构翻转后正对下方所述取料平台上的目标晶粒，并在所述Z向升降机构的驱动下向下直线运动，使所述拾取头将所述目标晶粒拾取； 键合机构，所述键合机构包括Y向直线运动机构，以及竖直设置在所述Y向直线运动机构上的键合轮盘，所述键合轮盘可沿所述Y向直线运动机构进行直线往复运动，且所述键合轮盘上设置竖直旋转机构，使所述键合轮盘可进行竖直方向的旋转；所述键合轮盘的边缘周向设置若干键合头，每个所述键合头上均设置直线运动执行机构；所述键合轮盘整体位于键合平台的上方，所述键合轮盘在所述Y向直线运动机构的驱动下靠近所述拾取转盘上的所述拾取头，使所述键合头在所述直线运动执行机构的驱动下将所述拾取头上的目标晶粒吸取，并在所述Y向直线运动机构的驱动下返回至所述键合平台的上方，通过所述直线运动执行机构驱动所述键合头向下直线运动，以将所述目标晶粒与所述键合平台上的目标晶圆进行键合； 每个所述拾取头上均配置伯努利吸嘴，且通过正压吸附的方式拾取所述目标晶粒；每个所述键合头上均配置真空吸附吸嘴，且通过负压吸附的方式吸取所述目标晶粒； 所述的晶粒到晶圆的键合设备的键合方法，包括以下步骤： S1.通过水平旋转机构对拾取转盘进行旋转，将目标拾取头旋转至取料位置，通过竖直翻转机构将所述目标拾取头的方向翻转至竖直向下，使所述目标拾取头正对下方取料平台上的目标晶粒，通过Z向升降机构驱动所述拾取转盘向下直线运动，使所述目标拾取头将所述目标晶粒拾取，再通过所述竖直翻转机构将所述目标拾取头翻转至水平方向； S2.重复步骤S1，直至所述拾取转盘上的所有拾取头依次拾取到对应的目标晶粒，再通过Y向直线运动机构驱动键合轮盘运动至取料平台上方的待交接位； S3.通过竖直旋转机构对所述键合轮盘进行旋转，将目标键合头旋转至水平方向，通过直线运动执行机构驱动所述目标键合头逐渐靠近所述目标拾取头，直至将所述目标拾取头上的目标晶粒吸取，并在所述直线运动执行机构的驱动下返回至原位； S4.重复步骤S3，直至所述键合轮盘上的所有键合头依次吸取到对应的目标晶粒，再通过所述Y向直线运动机构将所述键合轮盘带回至键合平台上方的待键合位； S5.通过所述竖直旋转机构对所述键合轮盘进行旋转，将目标键合头旋转至竖直向下，通过所述直线运动执行机构驱动所述目标键合头向下直线运动，以将所述目标晶粒键合至目标晶圆的目标位置上，并在所述直线运动执行机构的驱动下返回至原位； S6.重复步骤S5，直至将所有键合头上的目标晶粒依次键合至目标晶圆上。

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