长春理工大学董莉彤获国家专利权
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龙图腾网获悉长春理工大学申请的专利一种基于光栅耦合MIM结构的SERS衬底及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118150545B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410233265.X,技术领域涉及:G01N21/65;该发明授权一种基于光栅耦合MIM结构的SERS衬底及其制备方法和应用是由董莉彤;王悦;李翔宇;刘梦楠;胡婧;王璐;胡翠华;宋正勋;王作斌设计研发完成,并于2024-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于光栅耦合MIM结构的SERS衬底及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明属于表面增强拉曼光谱检测技术领域,具体公开了一种基于光栅耦合MIM结构的SERS衬底及其制备方法和应用,MIM结构中选择Ag层作为SERS活性层,解决了在传统制造方案中使用Ag颗粒,随机产生“热点”导致的衬底制备不可重复的问题;MIM结构中选择SU8层作为绝缘层,解决了在传统制造方案中使用SiO2层,因材料的折射率低导致干涉场强度不高的问题;通过激光干涉光刻技术和位移Talbot光刻技术来制造光栅结构,解决了使用电子束光刻、聚焦离子束光刻等技术带来的高成本、低效率的问题。
本发明授权一种基于光栅耦合MIM结构的SERS衬底及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种基于光栅耦合MIM结构的SERS衬底,包括硅基底、位于基底上表面的反射层、位于反射层上表面的绝缘层、位于绝缘层上表面的光栅结构层和位于光栅结构层上表面的SERS活性层;其特征在于:所述SERS活性层为Ag层,所述绝缘层为SU8光刻胶层,所述反射层为Au层; 所述Ag层厚度为40nm,光栅结构层的光栅高度为250nm,所述SU8光刻胶层厚度为20nm,所述Au层厚度为50nm。
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