买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉先导薄膜材料(淄博)有限公司申请的专利一种高密度大尺寸ITO靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117735975B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311460617.7，技术领域涉及：C04B35/457；该发明授权一种高密度大尺寸ITO靶材及其制备方法是由李立维;马胜;余芳;李明鸿设计研发完成，并于2023-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高密度大尺寸ITO靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于ITO靶材制备技术领域，公开了一种高密度大尺寸ITO靶材及其制备方法，该高密度大尺寸ITO靶材的制备方法，包括如下步骤：步骤1：将ITO素坯放入脱脂烧结一体炉内以100‑150℃h的升温速率升温至280‑300℃，保温10‑25h，过程中以20‑30Lmin的流量持续通入0.1MPa的干燥压缩空气；步骤2：待步骤1保温完成后，以80‑110℃h的升温速率升温至600‑620℃，保温8‑15h，过程中以20‑30Lmin的流量持续通入干燥压缩空气；步骤3：待步骤2保温完成后，以60‑100℃h的降温速率降温至400℃，并通入干燥压缩空气以使炉内压力达到0.15‑2MPa，然后保压保温15‑20h。本发明在脱脂与烧结工序之间设置了一道低温高压的保温保压工序，从而确保ITO素坯内的水分和粘结剂完全从靶材内部排出，提高靶材密度的同时还避免了靶材开裂。

本发明授权一种高密度大尺寸ITO靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高密度大尺寸ITO靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1：将ITO素坯放入脱脂烧结一体炉内以100-150℃h的升温速率升温至280-300℃，保温10-25h，过程中以20-30Lmin的流量持续通入干燥压缩空气； 步骤2：待步骤1保温完成后，以80-110℃h的升温速率升温至600-620℃，保温8-15h，过程中以20-30Lmin的流量持续通入干燥压缩空气； 步骤3：待步骤2保温完成后，以60-100℃h的降温速率降温至400℃，并通入干燥压缩空气以使炉内压力达到0.15-2MPa，然后保压保温15-20h； 步骤4：待步骤3保温保压完成后，以80-120℃h的升温速率升温至1300-1350℃，保温8-15h，过程中以20-30Lmin的流量持续通入干燥压缩空气； 步骤5：待步骤4保温完成后，以80-120℃h的升温速率升温至1600-1700℃，保温5-20h，过程中以5-20Lmin的流量持续通入干燥氧气； 步骤6：待步骤5保温完成后，先以60-100℃h的降温速率降温至1200℃，然后再以100-150℃h的降温速率降温至40℃，即可得到所述的高密度大尺寸ITO靶材。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人先导薄膜材料(淄博)有限公司，其通讯地址为：255000 山东省淄博市先创区渤海路以南、创业大道以东；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。