华海清科股份有限公司曹自立获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆后处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117198938B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311190128.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆后处理装置是由曹自立;陈贺;李灯;李长坤设计研发完成，并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆后处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆后处理装置，其包括：箱体；夹持组件，设置于箱体中，其能够竖直夹持并带动晶圆旋转；防护组件，设置于所述夹持组件的外周侧，其包括旋转罩和固定罩，所述旋转罩连接于夹持组件并位于待处理晶圆的外周侧，所述固定罩同心设置于旋转罩的外侧；所述旋转罩和或固定罩形成有阻挡结构，以抑制离心飞散的流体回沾于晶圆表面。
本发明授权一种晶圆后处理装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆后处理装置，其特征在于，包括： 箱体； 夹持组件，设置于箱体中，其能够竖直夹持并带动晶圆旋转； 防护组件，设置于所述夹持组件的外周侧，其包括旋转罩和固定罩，所述旋转罩连接于夹持组件并位于待处理晶圆的外周侧，所述固定罩同心设置于旋转罩的外侧；所述固定罩的前端配置有凹槽，所述旋转罩相应配置有环形挡圈； 所述旋转罩和固定罩形成有阻挡结构，以抑制离心飞散的流体回沾于晶圆表面； 所述固定罩垂直连接于箱体的背板，其下方配置有固定罩排液口；所述旋转罩的外侧壁和固定罩的内侧壁设置有波纹状的阻挡结构，两者的凸起沿水平方向交错设置； 所述旋转罩包括盘体和旋转罩体，所述旋转罩体设置于盘体的外沿；所述盘体与旋转罩体的交接处设置有旋转罩排液口；所述旋转罩体的外侧壁配置有旋转罩凸起，所述旋转罩凸起包括旋转罩迎水面和旋转罩衔接面，所述旋转罩迎水面自旋转罩峰点远离盘体向内侧延伸，所述旋转罩衔接面位于旋转罩峰点另一侧并自旋转罩峰点向内侧延伸。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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