华海清科股份有限公司齐心获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆装载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117116804B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311048841.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆装载装置是由齐心;徐海洋;梁清波设计研发完成，并于2023-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆装载装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆装载装置，其包括：底座；托架，其位于底座上方；所述托架上方配置有检测组件，所述检测组件包括杆件，所述杆件能够绕定点上下摆动，其端部设置有配重块；所述托架上方配置有压力检测口，所述配重块的设置位置与压力检测口相对应；所述杆件随着其上是否装载晶圆处于不同状态，其能够带动配重块打开或封堵压力检测口，以通过压力变化判断晶圆是否装载。
本发明授权一种晶圆装载装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆装载装置，其特征在于，包括： 底座； 托架，其位于底座上方； 所述托架上方配置有检测组件，所述检测组件包括杆件，所述杆件能够绕定点上下摆动，其一端设置有配重块，另一端设置有与晶圆边缘线接触的倾斜面； 所述托架上方配置有压力检测口，所述配重块的设置位置与压力检测口相对应；所述杆件随着其上是否装载晶圆处于不同状态，其能够带动配重块打开或封堵压力检测口，以通过压力变化判断晶圆是否装载； 所述配重块的底面为平面，其与压力检测口的位置精确对应，所述配重块的底面与压力检测口形成平面密封接触；所述压力检测口设置在托架的边缘位置； 晶圆未装载时，配重块通过重力完全封堵压力检测口；晶圆装载时，所述杆件绕定点摆动并带动配重块上移，使得压力检测口完全开启，进而通过压力传感器的数值突变判断晶圆状态； 所述检测组件还配置有弹簧，所述弹簧设置于杆件的摆动点与配置块之间；待装载晶圆抵压于所述弹簧设置位置的外侧；所述杆件的摆动点位于晶圆装载区域的外侧。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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