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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利调平机构及晶圆传输机械手获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116872185B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311042835.9，技术领域涉及：B25J9/00；该发明授权调平机构及晶圆传输机械手是由黄渤轩;贺威龙;于朋扬;杨树文;王洪宇设计研发完成，并于2023-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本调平机构及晶圆传输机械手在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆技术领域，具体而言，涉及一种调平机构及晶圆传输机械手，包括从下至上依次设置的底板、调整板、压板；所述底板与所述调整板通过若干个第一螺钉连接，所述底板上设置有插装所述第一螺钉的第一通孔，所述调整板上设置有用于连接所述第一螺钉的第二螺孔；所述压板与所述调整板通过若干个第二螺钉连接，所述压板上设置用于插装所述第二螺钉的第二通孔，所述调整板上设置有用于连接所述第二螺钉的第一螺孔；所述压板上还贯穿开设三个圆周分布的顶丝安装孔，所述顶丝安装孔内均安装调整顶丝，且所述调整板的上表面分别设置有锥形定心孔、长条定向槽和辅助盲孔。其能够保证晶圆在机械手传输过程中的水平精度。

本发明授权调平机构及晶圆传输机械手在权利要求书中公布了：1.一种调平机构，用于晶圆传输机械手的前臂与中臂的交接处，其特征在于，包括从下至上依次设置的底板（1）、调整板（2）、压板（3）； 所述底板（1）与所述调整板（2）通过若干个第一螺钉（7）连接，所述底板（1）上设置有插装所述第一螺钉（7）的第一通孔（101）； 所述压板（3）与所述调整板（2）通过若干个第二螺钉（8）连接，所述压板（3）上设置用于插装所述第二螺钉（8）的第二通孔（301）； 所述调整板（2）上竖直贯穿开设有若干个柱孔（206），所述柱孔（206）内安装有连接柱（4），所述连接柱（4）的上端开设第一螺孔，用于连接第二螺钉（8）；所述连接柱（4）的下端开设第二螺孔，用于连接第一螺钉（7）；所述第一螺孔与所述第二螺孔一一对应且同轴设置； 所述底板（1）与所述调整板（2）之间设置多个弹性件，所述底板（1）的上表面和或所述调整板（2）的下表面开设多个用于安装所述弹性件的槽孔； 所述压板（3）上还贯穿开设三个圆周分布的顶丝安装孔（302），所述顶丝安装孔（302）内均安装调整顶丝（6），且所述调整板（2）的上表面分别设置有锥形定心孔（201）、长条定向槽（202）和辅助盲孔（203），三个所述调整顶丝（6）的底部分别位于所述锥形定心孔（201）、所述长条定向槽（202）、所述辅助盲孔（203）内。

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