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龙图腾网获悉苏州外延世电子材料有限公司申请的专利一种气体扩散器激光清洗除膜设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117102157B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311047798.0，技术领域涉及：B08B7/00；该发明授权一种气体扩散器激光清洗除膜设备及方法是由金鑫;陶仁义设计研发完成，并于2023-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气体扩散器激光清洗除膜设备及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种气体扩散器激光清洗除膜设备及方法，包括硝酸清洗池，所述硝酸清洗池内设置有限位架，所述限位架用于对气体扩散器进行固定限位，所述气体扩散器上阵列式分布有贯穿的扩散孔，所述气体扩散器两侧分别活动设置有激光除膜装置，所述固定敞口舱及活动围合挡边在配合过程中形成上方具有敞口结构的硝酸清洗池，所述充气防护罩连同倾斜激光头和垂直激光头在机械臂带动下处于硝酸溶液的液面以下进行除膜操作，本发明采用激光和硝酸浸泡联合的清洗除膜方式完成对气体扩散器表面的清理操作，大大缩短了浸泡时间，气体在溢出过程中将粉尘排出，有效防止扩散孔内部发生堵塞，还保证了激光除膜装置能够顺利完成气体扩散器表面的激光除膜操作。

本发明授权一种气体扩散器激光清洗除膜设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种气体扩散器激光清洗除膜设备，包括硝酸清洗池，所述硝酸清洗池内设置有限位架，所述限位架用于对气体扩散器进行固定限位，所述气体扩散器上阵列式分布有贯穿的扩散孔，所述气体扩散器两侧分别活动设置有激光除膜装置，两侧的所述激光除膜装置在机械臂驱动下对气体扩散器表面进行除膜操作，其特征在于：所述硝酸清洗池包括固定敞口舱及活动围合挡边，所述固定敞口舱及活动围合挡边在配合过程中形成上方具有敞口结构的硝酸清洗池，所述固定敞口舱底部分别开设有进液孔和出液孔，所述进液孔和出液孔通过埋设的管道与硝酸存储池连通，所述硝酸存储池通过管道与硝酸清洗池之间进行硝酸溶液的交替转移； 所述激光除膜装置包括倾斜激光头和垂直激光头，所述倾斜激光头和垂直激光头均固定安装在充气防护罩内，所述充气防护罩固定安装在机械臂的操作端，所述机械臂上设置有向充气防护罩内持续充注气体的泵气装置，所述气体扩散器在清洗除膜过程中浸没于硝酸清洗池投放的硝酸溶液内，所述充气防护罩连同倾斜激光头和垂直激光头在机械臂带动下处于硝酸溶液的液面以下进行除膜操作，所述充气防护罩内部通过泵气装置持续泵入的气体形成气体保护空间，能够防止倾斜激光头和垂直激光头浸泡在硝酸溶液内，所述充气防护罩内的气体通过充气防护罩与气体扩散器抵靠的边缘以及围合处的若干扩散孔向外溢出，所述充气防护罩内还设置有距离感应器； 若干阵列式设置的所述扩散孔包括直孔端和斜孔端，所述直孔端与斜孔端相互连通，所述垂直激光头用于对直孔端进行除膜操作，所述倾斜激光头用于对斜孔端进行除膜操作，所述倾斜激光头为一对设置，所述倾斜激光头对称式设置于垂直激光头两侧。

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