中国科学院上海技术物理研究所程正喜获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海技术物理研究所申请的专利一种低吸合电压的微镜结构及制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116560069B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310694427.5，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权一种低吸合电压的微镜结构及制造方法是由程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌设计研发完成，并于2023-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低吸合电压的微镜结构及制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种低吸合电压的微镜结构及制造方法，微镜结构包括：设于衬底上的锚点，和通过一端与所述锚点连接并悬设于所述衬底上的微镜镜面，以及对应设于所述微镜镜面下方的所述衬底上的寻址电极；所述微镜镜面与所述锚点一一对应设置；所述微镜镜面在来自所述寻址电极的静电驱动下，发生相对于所述衬底表面的整体倾斜，并在失去来自所述寻址电极的静电驱动时，受弹性作用发生整体回复。本发明能有效降低微镜的吸合电压，并可与CMOS工艺设计兼容，具有结构相对简单，成本较为低廉的优势。
本发明授权一种低吸合电压的微镜结构及制造方法在权利要求书中公布了：1.一种低吸合电压的微镜结构，其特征在于，包括： 设于衬底上的锚点，和通过一端与所述锚点连接并悬设于所述衬底上的微镜镜面，以及对应设于所述微镜镜面下方的所述衬底上的寻址电极； 其中，所述微镜镜面与所述锚点一一对应设置； 其中，所述微镜镜面在来自所述寻址电极的静电驱动下，发生相对于所述衬底表面的整体倾斜，并在失去来自所述寻址电极的静电驱动时，受弹性作用发生整体回复； 所述微镜镜面形状包括多边形，所述锚点包括设于所述衬底表面上的弹性片状支撑柱，所述微镜镜面具有弹性，并以所述多边形的一个角端为连接支点直接连接在所述锚点上； 所述微镜镜面通过一端与弹性悬臂梁的第一端连接，所述悬臂梁的第二端与所述锚点连接，且所述微镜镜面在所述悬臂梁的第一端与第二端的连线两侧呈对称分布；其中，所述微镜镜面与所述悬臂梁、所述锚点一一对应设置。
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