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龙图腾网获悉中国科学院上海技术物理研究所申请的专利一种弹性支撑的微镜单元和微镜阵列及制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116679442B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310693038.0，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权一种弹性支撑的微镜单元和微镜阵列及制造方法是由程正喜;徐鹤靓;陈永平;马斌设计研发完成，并于2023-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种弹性支撑的微镜单元和微镜阵列及制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种弹性支撑的微镜单元和微镜阵列及制造方法，微镜单元包括：设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构设有微桥桥面，所述微桥桥面通过至少三个弹性支撑体弹性支撑于所述衬底上，所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑体相隔离；所述衬底上设有施力机构，通过所述施力机构对各所述支撑体中的至少一个施加作用力，使其对应发生高度上的弹性伸张或压缩，带动使所述微桥桥面以及所述微镜镜面作对应方向和角度的偏转。本发明能减小驱动微镜时所需的吸合电压，可采用与CMOS工艺完全兼容的技术实现，并能够大幅度提升产品的性能及降低成本。

本发明授权一种弹性支撑的微镜单元和微镜阵列及制造方法在权利要求书中公布了：1.一种弹性支撑的微镜单元，其特征在于，包括： 设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构设有微桥桥面，所述微桥桥面通过至少三个弹性支撑体弹性支撑于所述衬底上，所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑体相隔离； 其中，所述衬底上设有施力机构，通过所述施力机构对各所述支撑体中的至少一个施加作用力，使其对应发生高度上的弹性伸张或压缩，带动使所述微桥桥面以及所述微镜镜面作对应方向和角度的偏转； 所述施力机构包括静电力施力机构，用于对各所述支撑体中的至少一个施加静电作用力；所述静电力施力机构包括设于所述衬底表面上并围绕所述支撑体的第一电极，和设于所述微桥桥面上并连接所述支撑体的第二电极，所述第一电极与所述第二电极形成对所述支撑体施加静电作用力的电容结构，所述微镜镜面与所述第二电极相电性隔离；所述第一电极连接设于所述衬底中的控制电路，所述第二电极通过导电的所述支撑体连接所述控制电路，所述控制电路用于通过所述第一电极和所述第二电极，对各所述支撑体中的至少一个施加静电作用力；所述支撑体的下端通过设于所述衬底表面上的着陆金属结构连接所述控制电路，所述第一电极围绕所述着陆金属结构设置，并与所述着陆金属结构相电性隔离，所述支撑体通过上端连接在所述第二电极的底面中部上；所述支撑体包括沿其高度方向具有弹性的弹簧结构；所述弹簧结构包括多个导电的垂直支撑段和水平支撑段，所述垂直支撑段和所述水平支撑段交替相连，在所述支撑体的高度方向上形成具有弹性的转折结构。

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