新加坡先进薄膜材料私人有限公司郑双明获国家专利权
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龙图腾网获悉新加坡先进薄膜材料私人有限公司申请的专利一种铜铁铬镍四元合金平面溅射靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116607026B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310592526.2，技术领域涉及：C22C1/02；该发明授权一种铜铁铬镍四元合金平面溅射靶材及其制备方法是由郑双明;白向钰;潘国栋;张若愚;黄拔平设计研发完成，并于2023-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铜铁铬镍四元合金平面溅射靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种铜铁铬镍四元合金平面溅射靶材及其制备方法，其中铜铁铬镍四元合金平面溅射靶材制备方法至少包括真空感应熔炼铸型步骤：将铜、铁、铬和镍原料按照预设质量比放入真空感应熔炼炉中加工成为成型靶材，且成型靶材的相对密度不小于99％。由于成型靶材在真空感应熔炼炉内熔炼而成，因此本发明所公开的铜、铁、铬和镍原料在真空感应熔炼炉内可以进行充分的熔合，而且由于铜铁系合金具有良好的导电、导热性能、较高的机械强度和耐磨蚀等特性，铬元素的添加可以进一步提高合金的抗腐蚀性以及机械系性能，镍元素的添加可以与铬元素充分配合，使金相组织由单相的铁素体变为奥氏体和铁素体双相组织，从而有效提高合金靶材的抗腐蚀和机械性能。
本发明授权一种铜铁铬镍四元合金平面溅射靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种铜铁铬镍四元合金平面溅射靶材的制备方法，其特征在于，至少包括真空感应熔炼铸型步骤： 将铜、铁、铬和镍原料按照预设质量比放入真空感应熔炼炉中加工成为成型靶材，且所述成型靶材的相对密度不小于99%； 所述真空感应熔炼铸型步骤包括： 原料熔化：将所述铜、铁、铬和镍原料放入制备装置中加热至第一预设温度，使得所述铜、铁、铬和镍原料熔化为铜铁铬镍熔融物料； 物料浇注：将所述铜铁铬镍熔融物料浇注至模具中，并将所述模具抽真空处理，使得所述模具的真空度值为预设真空度值； 冷却脱膜：将所述铜铁铬镍熔融物料在所述模具中冷却至室温后脱膜得到所述成型靶材； 所述铜、铁、铬和镍原料的预设质量比为79：16：3：2。
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