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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于光谱共焦测量系统重叠信号分解的厚度测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116538934B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310537895.1，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权基于光谱共焦测量系统重叠信号分解的厚度测量方法是由王廷煜;王之一;王建立;糜小涛;杨永强设计研发完成，并于2023-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于光谱共焦测量系统重叠信号分解的厚度测量方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种基于光谱共焦测量系统重叠信号分解的厚度测量方法，通过使用标定的光谱共焦测量系统的单峰信号曲线对待测物的重叠峰光谱信号曲线数据进行分解，并根据分解的上表面和下表面的单峰光谱信号曲线数据，计算待测物的厚度。本发明所提供的厚度测量方法在无需任何额外的光学元件，仅通过算法就实现了微米级厚度薄膜的准确测量，扩展了光谱共焦测量系统的测量范围和应用场合。解决了当待测物厚度过小时，上下表面单峰光谱信号相互叠加，而无法测量微米级厚度待侧物厚度的技术问题。

本发明授权基于光谱共焦测量系统重叠信号分解的厚度测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于光谱共焦测量系统重叠信号分解的厚度测量方法，其特征在于，所述厚度测量方法包括如下步骤： S1、对光谱共焦测量系统的单峰信号曲线进行标定； S2、将待测物置于所述光谱共焦测量系统中，获取所述待测物的重叠峰光谱信号曲线数据； S3、根据所述单峰光谱信号曲线数据，将所述重叠峰光谱信号曲线数据分别分解为所述待测物上表面的单峰光谱信号曲线数据和下表面的单峰光谱信号曲线数据； S301、建立待分解的所述待测物的重叠峰光谱信号曲线数据的模型，所述模型如公式2所示： 其中，表示所述重叠峰光谱信号曲线数据；dup表示所述待测物上表面的位置信息；ddown表示所述待测物下表面的位置信息；表示标定反射面处在待测物上表面位置dup时的单峰信号曲线数据，表示标定反射面处在待测物下表面位置ddown时的单峰信号曲线数据；k1表示所述待测物上表面的折射率补偿因子；k2表示所述待测物下表面的折射率补偿因子； S302、初始化所述待测物上表面的位置信息、所述待测物下表面的位置信息和所述待测物下表面的折射率补偿因子； S303、固定所述待测物下表面的折射率补偿因子和所述待测物下表面的位置信息，根据第一预设条件计算公式3的最小值，进而获取更新后的待测物上表面的折射率补偿因子和更新后的待测物上表面的位置信息；所述公式3如下所示： 其中，lossup表示所述待测物上表面的损失函数； S304、固定所述待测物上表面的折射率补偿因子和所述待测物上表面的位置信息，根据第一预设条件计算公式4的最小值，进而获取更新后的待测物下表面的折射率补偿因子和更新后的待测物下表面的位置信息；所述公式4如下所示： 其中，lossdown表示所述待测物下表面的损失函数； S305、判断是否满足第二预设条件，若未满足第二预设条件，则重复步骤S303和S304进行迭代更新；若满足第二预设条件，则停止迭代更新，获取迭代更新后的待测物上表面的位置信息、待测物下表面的位置信息、待测物上表面的折射率补偿因子、待测物下表面的折射率补偿因子；所述第二预设条件为：总损失值函数的数值不发生变化，公式5如下所示： 其中，lossall表示总损失值函数的数值； S4、根据上表面和下表面的单峰光谱信号曲线数据，计算所述待测物的厚度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，其通讯地址为：130033 吉林省长春市东南湖大路3888号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。