华海清科股份有限公司王振高获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种化学机械抛光系统的故障诊断方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116499723B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310382394.0，技术领域涉及：G01M13/00；该发明授权一种化学机械抛光系统的故障诊断方法是由王振高;岳智伟;张云飞;周斌设计研发完成，并于2023-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械抛光系统的故障诊断方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种化学机械抛光系统的故障诊断方法，应用于气液箱的故障管理，其包括：获取检测数据；根据所述检测数据确定所述气液箱的运行状态；所述检测数据包括气液箱处于打开状态的持续时间，若气液箱打开的持续时间大于或等于预设阈值时间，则所述气液箱处于故障状态；若气液箱打开的持续时间小于预设阈值时间，则所述气液箱未发生故障。
本发明授权一种化学机械抛光系统的故障诊断方法在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光系统的故障诊断方法，应用于气液箱的故障管理，其特征在于，包括： 获取检测数据； 根据所述检测数据确定所述气液箱的运行状态； 所述检测数据包括气液箱处于打开状态的持续时间； 若气液箱打开的持续时间大于或等于预设阈值时间，则所述气液箱处于故障状态；若气液箱打开的持续时间小于预设阈值时间，则所述气液箱未发生故障； 所述检测数据还包括气液箱的故障时间，其使用计时器获取；所述气液箱的故障时间由第一计时器和第二计时器检测获取；若所述气液箱发生故障，则由第一计时器记录所述气液箱故障时间的累加值，由第二计时器记录所述气液箱故障时间的最大值；若第二计时器记录的故障时间大于所述第二计时器中的保存时间，则更新第二计时器中的保存时间。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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