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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116423381B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310382322.6，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备是由马旭;刘远航;赵德文;路新春设计研发完成，并于2023-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备，所述吸盘工作台的制造方法包括：将待安装的吸盘工作台朝向减薄基座的侧部旋转；将台座上靠近减薄基座侧部的螺栓孔作为基准位置，以所述基准位置为参考确定吸盘组件的螺栓安装顺序；根据螺栓安装顺序，控制所述台座的旋转动作，使得所述台座对应的螺栓孔依次旋转至靠近减薄基座侧部；依次安装螺栓，以将吸盘组件固定于所述台座。

本发明授权一种吸盘工作台的制造方法和基板减薄设备在权利要求书中公布了：1.一种吸盘工作台的制造方法，其特征在于，包括以下步骤： S1，将待安装的吸盘工作台朝向减薄基座的侧部旋转； S2，将台座上靠近减薄基座侧部的螺栓孔作为基准位置，以所述基准位置为参考确定吸盘组件的螺栓安装顺序； S3，根据螺栓安装顺序，控制所述台座的旋转动作，使得所述台座对应的螺栓孔依次旋转至靠近减薄基座侧部； S4，依次安装螺栓，以将吸盘组件固定于所述台座； 所述螺栓安装顺序的确定包括： S21，将台座上首先靠近减薄基座侧部的螺纹孔作为第一螺栓孔； S22，以第一螺栓孔为基准，沿顺时针或逆时针方向，依次间隔一个螺栓孔，确定安装编号为奇数的螺纹孔的位置； 所述螺栓安装顺序的确定还包括： S210，以第一螺栓孔和第三螺纹孔为基准，确定经由台座中心的中心线； S220，圆心位于所述中心线且远离第一螺栓孔和第三螺栓孔的螺栓孔为第二螺栓孔； S230，以第二螺栓孔为基准，沿顺时针或逆时针方向，依次间隔一个螺栓孔，确定安装编号为偶数的螺栓孔的位置； 所述螺栓以三个为一组进行安装，每一组螺栓孔的连线形成的三角形为等腰三角形，该等腰三角形的对称中心线经过吸盘工作台的中心点；分组对吸盘工作台进行对称固定，使得吸盘组件的底面与台座的顶面紧密贴合的同时，将吸盘组件与台座之间的积水排至外部，以避免吸盘组件与台座之间存在积水。

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