广东利元亨智能装备股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉广东利元亨智能装备股份有限公司申请的专利异质结PVD载板冷却方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116463600B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310348866.0，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权异质结PVD载板冷却方法是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2023-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本异质结PVD载板冷却方法在说明书摘要公布了：本申请涉及镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种异质结PVD载板冷却方法，异质结PVD载板冷却方法包括：供气准备；对载板出料腔安装供气设备，以向载板出料腔内输送冷却气体；检测载板温度；检测经载板出料腔输出的载板的温度；每连续N个载板为一组检测组；对检测组的温度检测结果设定M个预定温度区间，根据不同的预定温度区间对应调节冷却气体的流量，直到检测组的温度不高于目标温度；N和M均为正整数。本申请提供的异质结PVD载板冷却方法，能够对载板以及由载板承载的电池片有效进行冷却，实现快速降温，避免输出的载板温度过高，容易烫伤工作人员，还缩短了载板和电池片的冷却耗时。
本发明授权异质结PVD载板冷却方法在权利要求书中公布了：1.一种异质结PVD载板冷却方法，其特征在于，包括以下步骤： 供气准备；对载板出料腔安装供气设备，以向所述载板出料腔内输送冷却气体； 检测载板的温度；检测经所述载板出料腔输出的所述载板的温度；每连续N个所述载板为一组检测组； 对所述检测组的温度检测结果设定M个预定温度区间，根据不同的所述预定温度区间对应调节所述冷却气体的流量，直到所述检测组的温度不高于目标温度；N和M均为正整数； 所述预定温度区间至少包括： 第一预定温度区间T1，T1≥80℃，此时所述冷却气体的供气流量不小于800sccm； 第二预定温度区间T2，60℃≤T2＜80℃，此时所述冷却气体的供气流量不小于600sccm； 第三预定温度区间T3，40℃≤T3＜60℃，此时所述冷却气体的供气流量不小于400sccm； 第四预定温度区间T4，30℃≤T4＜40℃，此时所述冷却气体的供气流量不小于200sccm； 所述载板出料腔每连续输出H个所述载板后选定一次所述检测组；H为自然数。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东利元亨智能装备股份有限公司，其通讯地址为：516057 广东省惠州市惠城区马安镇新鹏路4号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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