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龙图腾网获悉西安德普赛科计量设备有限责任公司申请的专利一种三维微位移滑块的6自由度误差解耦方法及测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116499366B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310316963.1，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权一种三维微位移滑块的6自由度误差解耦方法及测量系统是由曹云祥设计研发完成，并于2023-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三维微位移滑块的6自由度误差解耦方法及测量系统在说明书摘要公布了：本发明涉及精密测量技术领域，特别涉及一种三维微位移滑块的6自由度误差解耦方法及测量系统，包括三维微位移滑块；三维微位移滑块的外表面位于X轴方向设置有X向测量模块，X向测量模块用于测量x向入射光束的初始距离，以及x向+1级主极大衍射光束和x向‑1级主极大衍射光束与x向入射光束的夹角；三维微位移滑块的外表面位于Y轴方向设置有Y向测量模块；本发明中，通过设置三组呈正交布置的反射式光栅和三组光电位置传感器，可有效获取由6自由度误差耦合的测量数据，通过快速误差解耦方法可使用测量数据高精度的分离出三维微位移滑块沿x、y和z轴，以及绕x、y和z轴的6个自由度误差。

本发明授权一种三维微位移滑块的6自由度误差解耦方法及测量系统在权利要求书中公布了：1.一种三维微位移滑块的测量系统，包括三维微位移滑块（1），其特征在于： 所述三维微位移滑块（1）的外表面位于x轴方向设置有X向测量模块，所述X向测量模块用于测量x向入射光束（11）的初始距离，以及x向+1级主极大衍射光束（12）和x向-1级主极大衍射光束（13）与x向入射光束（11）的夹角；其中，所述X向测量模块包括x向角度位移台（2），所述x向角度位移台（2）的外表面远离所述三维微位移滑块（1）的一侧安装有x向反射式光栅（3），所述x向反射式光栅（3）用于接收x向入射光束（11），并产生x向+1级主极大衍射光束（12）和x向-1级主极大衍射光束（13）； 所述三维微位移滑块（1）的外表面位于y轴方向设置有Y向测量模块，所述Y向测量模块用于测量y向入射光束（14）的初始距离，以及y向+1级主极大衍射光束（15）和y向-1级主极大衍射光束（16）与y向入射光束（14）的夹角；其中，所述Y向测量模块包括y向角度位移台（4），所述y向角度位移台（4）的外表面远离所述三维微位移滑块（1）的一侧安装有y向反射式光栅（5），所述y向反射式光栅（5）用于接收y向入射光束（14），并产生y向+1级主极大衍射光束（15）和y向-1级主极大衍射光束（16）； 所述三维微位移滑块（1）的外表面位于z轴方向设置有Z向测量模块，所述Z向测量模块用于测量z向入射光束（17）的初始距离，以及z向+1级主极大衍射光束（18）和z向-1级主极大衍射光束（19）与z向入射光束（17）的夹角；其中，所述Z向测量模块包括z向角度位移台（6），所述z向角度位移台（6）的外表面远离所述三维微位移滑块（1）的一侧安装有z向反射式光栅（7），所述z向反射式光栅（7）用于接收z向入射光束（17），并产生z向+1级主极大衍射光束（18）和z向-1级主极大衍射光束（19）； 所述x向角度位移台（2）、所述y向角度位移台（4）和所述z向角度位移台（6）分别通过角度调节装置安装在所述三维微位移滑块（1）上； 所述x向角度位移台（2）上的角度调节装置，用于调节所述x向反射式光栅（3）分别沿y轴、z轴和x轴旋转； 所述y向角度位移台（4）上的角度调节装置，用于调节所述y向反射式光栅（5）分别沿x轴、z轴和y轴旋转； 所述z向角度位移台（6）上的角度调节装置，用于调节所述z向反射式光栅（7）分别沿y轴、x轴和z轴旋转。

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