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江苏工程职业技术学院崔美丽获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏工程职业技术学院申请的专利一种TOPCon太阳能电池的制备方法及电池获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116314453B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310225130.4,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权一种TOPCon太阳能电池的制备方法及电池是由崔美丽设计研发完成,并于2023-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种TOPCon太阳能电池的制备方法及电池在说明书摘要公布了:本发明公开了一种TOPCon太阳能电池的制备方法及电池,包括:(1)对硅片进行清洗制绒;(2)采用等离子体增强化学气相沉积的方法,正面沉积含硼氧化硅层,背面沉积遂穿氧化硅层以及掺杂多晶硅层;(3)管式炉高温退火;(4)化学清洗;(5)管式炉双面氧化;(6)正面沉积第一钝化膜层;(7)背面沉积第二钝化膜层;(8)背面、正面分别制备电极;(9)经过光注入处理后得到TOPCon太阳能电池。由本发明提供的方法制备得到的TOPCon电池转换效率高,工艺步骤少,流程较传统工艺更加简单,同时设备投资也少,适用于商业化大批量生产。

本发明授权一种TOPCon太阳能电池的制备方法及电池在权利要求书中公布了:1.一种TOPCon太阳能电池的制备方法,其特征在于:包括如下步骤: (1)对硅片进行清洗制绒; (2)对硅片采用等离子体增强化学气相沉积的方法,正面沉积含硼氧化硅层,背面沉积遂穿氧化硅层以及掺杂多晶硅层; 所述正面沉积含硼氧化硅层,需要通入的反应气体及流量分别为硅烷1000-4000sccm,一氧化二氮3000-5000sccm、乙硼烷100-500sccm、氢气200-300sccm; 所述掺杂多晶硅层中的掺杂元素为磷和碳,所述沉积掺杂多晶硅层,需要通入的反应气体及流量分别为硅烷1500-5000sccm,磷烷300-2500sccm,甲烷50-300sccm,氮气4000-7000sccm; (3)对硅片使用管式炉进行高温退火,所述高温退火使用的气体及流量分别为氧气1000-5000sccm,氮气500-8000sccm,温度为900-1080℃,时间为90-135min; (4)对硅片进行化学清洗; (5)对硅片使用管式炉进行双面氧化; (6)在硅片正面沉积第一钝化膜层; (7)在硅片背面沉积第二钝化膜层; (8)在硅片背面、正面分别制备电极; (9)光注入处理。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏工程职业技术学院,其通讯地址为:226000 江苏省南通市崇川区青年中路87号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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