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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利导向机构及可移动平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116175494B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310120711.1，技术领域涉及：B25H1/00；该发明授权导向机构及可移动平台是由侯得锋;杨师;李龙飞;梅阳设计研发完成，并于2023-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本导向机构及可移动平台在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体设备领域，尤其是涉及一种导向机构及可移动平台。导向机构设置在工件台的顶部或底部，用于将工件台移出预定空间或将工件台移入预定空间，导向机构包括多个滑动件以及彼此相连的第一滑轨和第二滑轨，第一滑轨与第二滑轨交叉设置，每一滑动件能够连接工件台和第一滑轨或第二滑轨，工件台移出预定空间时，多个滑动件中的至少部分滑动件能够由第一滑轨滑动至第二滑轨，工件台移入预定空间时，多个滑动件中的至少部分滑动件能够由第二滑轨滑动至第一滑轨。根据本申请的导向机构及可移动平台，从而解决了现有对工件台移入移出的方案，不仅结构复杂，设计难度大，且设备成本较高的问题。

本发明授权导向机构及可移动平台在权利要求书中公布了：1.一种导向机构，其特征在于，所述导向机构设置在工件台的顶部或底部，用于将所述工件台移出预定空间或将所述工件台移入预定空间， 所述导向机构包括多个滑动件以及彼此相连的第一滑轨和第二滑轨，所述第一滑轨与所述第二滑轨交叉设置， 每一所述滑动件能够连接所述工件台和所述第一滑轨或第二滑轨， 所述工件台移出预定空间时，多个所述滑动件中的至少部分滑动件能够由所述第一滑轨滑动至所述第二滑轨， 所述工件台移入预定空间时，多个所述滑动件中的所述至少部分滑动件能够由所述第二滑轨滑动至所述第一滑轨； 所述第一滑轨与所述第二滑轨的夹角为钝角； 在第一种情况下，所述第一滑轨和所述第二滑轨首尾相连，多个所述滑动件包括第一滑动件、第二滑动件以及第三滑动件，所述工件台的一侧部连接有所述第一滑动件，与所述工件台的一侧部相邻的侧部依次连接有所述第二滑动件和所述第三滑动件， 在所述工件台移入状态下， 所述第一滑动件与所述第二滑动件均连接所述第一滑轨， 所述第三滑动件处于脱离状态， 在所述工件台移出预定空间过程中， 当所述第二滑动件滑动至所述第一滑轨的尾端时，所述第三滑动件从所述第二滑轨进入， 当所述第三滑动件滑动至所述第二滑轨的尾端时，所述第一滑动件脱离所述第一滑轨； 在第二种情况下，所述第一滑轨为两个，两个所述第一滑轨平行设置，两个所述第一滑轨中的第一者的尾端连接所述第二滑轨的首端，两个所述第一滑轨中的第二者的尾端连接所述第二滑轨的中部， 多个所述滑动件包括第一滑动件以及第二滑动件， 所述工件台的一侧部依次连接有所述第一滑动件和所述第二滑动件， 在所述工件台移入状态下， 所述第一滑动件连接所述第一者， 所述第二滑动件连接所述第二者， 在所述工件台移出预定空间过程中，所述第一滑动件滑动至所述第一者的尾端，并滑动至所述第二滑轨的中部， 所述第二滑动件滑动至所述第二者的尾端，并滑动至所述第二滑轨的尾端。

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