智慧星空(上海)工程技术有限公司;深圳智达星空科技(集团)有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉智慧星空(上海)工程技术有限公司;深圳智达星空科技(集团)有限公司申请的专利一种键合装置及一种双面对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313885B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211566271.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种键合装置及一种双面对准方法是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2022-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种键合装置及一种双面对准方法在说明书摘要公布了：本发明属于晶圆或芯片键合领域，具体涉及一种键合装置及一种双面对准方法，设置了双面对准测量系统，实现了晶圆与晶圆、芯片与芯片、芯片与晶圆的高精度对准，对水平偏移量和旋转角进行高精度补偿，消除了垂向运动引起的水平向误差，消除了对准系统光轴与基片表面不垂直带来的测量时的水平位置系统偏差。
本发明授权一种键合装置及一种双面对准方法在权利要求书中公布了：1.一种键合装置，用于在执行上基片与下基片的键合；其特征在于， 所述上基片及下基片上均设置有相互对应的基片标识，所述基片标识用于标识所述上基片与下基片之间的水平偏差； 所述键合装置包括垂向运动台、微动补偿台、双面对准测量系统、上基准版、下基准版及机器视觉系统； 键合前，所述上基片设置在所述垂向运动台上，所述下基片安装在所述微动补偿台上，所述垂向运动台用于带动所述上基片平行于所述下基片朝向所述下基片运动，所述微动补偿台用于微动调整所述下基片的位姿，所述垂向运动台处于键合前高度； 所述双面对准测量系统包括运动装置以及双面感光装置；所述运动装置带动所述双面感光装置在所述垂向运动台与所述微动补偿台之间平行于所述下基片运动；所述双面感光装置包括光轴一致且感光方向相反的两组感光元件；所述双面感光装置的光轴垂直于所述下基片； 所述上基准版随所述垂向运动台移动，设置有上基准标识；所述下基准版设置在所述微动补偿台上，设置有下基准标识；所述上基准标识与下基准标识相互对应，用于标识所述垂向运动台与所述微动补偿台之间的水平偏差； 所述机器视觉系统用于在所述垂向运动台处于使所述上基片与下基片进行键合的键合高度时，同时拍摄所述上基准标识及下基准标识。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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