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东北大学秦皇岛分校王毅获国家专利权

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龙图腾网获悉东北大学秦皇岛分校申请的专利一种深度检测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115808132B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211527930.3,技术领域涉及:G01B11/22;该发明授权一种深度检测装置及方法是由王毅;张鑫超;马振鹤设计研发完成,并于2022-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种深度检测装置及方法在说明书摘要公布了:一种深度检测装置及方法,属于光学检测技术领域,本发明在谱域干涉技术中引入了光谱共焦技术,采用分段测量方式,根据光谱共焦技术确定每个参考臂的偏移量并进行补偿,在不影响分辨率的情况下,实现纵向测量范围的增大。本发明在应用时,在每个探测点只需测量一次,有效提高了测量速度,适用于运动样品的测量。本发明针对色差效应需要线宽较大的光源而造成谱域干涉的深度测量范围较小的矛盾,在引入四参考臂用以增大检测深度的同时,为了消除谱域干涉四参考臂之间的干扰,首先利用色差技术确定低精度深度值,并确定参与干涉的参考臂,然后利用谱域干涉技术计算高精度深度相对值,并对谱域干涉的结果进行偏移量补偿,进而得到精确深度信息。

本发明授权一种深度检测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种深度检测装置,其特征在于:包括宽带光源、第一透镜、光阑、第二透镜、第一分束器、色散元件、第二分束器、第三分束器、第一滤波片、第三透镜、第一反射镜、第二滤波片、第四透镜、第二反射镜、第四分束器、第三滤波片、第五透镜、第三反射镜、第四滤波片、第六透镜、第四反射镜、光谱仪及处理单元;所述宽带光源发出的光由第一透镜聚焦后射向光阑,由光阑射出的光射向第二透镜,由第二透镜准直后的光射向第一分束器,由第一分束器分别射出样品光和参考光;由所述第一分束器射出的样品光射向色散元件,由色散元件射出的光聚焦于样品表面;由所述第一分束器射出的参考光射向第二分束器,第二分束器射出的参考光分别射入第三分束器和第四分束器;由所述第三分束器射出的参考光分别射入第一滤波片和第二滤波片;由所述第四分束器射出的参考光分别射入第三滤波片和第四滤波片;所述第一滤波片射出的参考光通过第三透镜聚焦后射向第一反射镜;所述第二滤波片射出的参考光通过第四透镜聚焦后射向第二反射镜;所述第三滤波片射出的参考光通过第五透镜聚焦后射向第三反射镜;所述第四滤波片射出的参考光通过第六透镜聚焦后射向第四反射镜;由所述第一滤波片、第三透镜及第一反射镜构成第一参考臂;由所述第二滤波片、第四透镜及第二反射镜构成第二参考臂;由所述第三滤波片、第五透镜及第三反射镜构成第三参考臂;由所述第四滤波片、第六透镜及第四反射镜构成第四参考臂;经所述样品表面反射出的样品光原路返回第一分束器;经所述第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜及第四反射镜反射出的参考光原路返回第一分束器;经反射后的样品光和参考光由第一分束器汇合后射向光谱仪,由光谱仪形成干涉光谱,光谱仪与处理单元电连接,由处理单元对干涉光谱进行解调。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东北大学秦皇岛分校,其通讯地址为:066004 河北省秦皇岛市经济技术开发区泰山路143号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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