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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种半导体工艺自密封开关门结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116146088B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211532545.8，技术领域涉及：E06B7/16；该发明授权一种半导体工艺自密封开关门结构是由戴红峰;王一;陈超设计研发完成，并于2022-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体工艺自密封开关门结构在说明书摘要公布了：本发明属于半导体加工设备领域，具体地说是一种半导体工艺自密封开关门结构，包括固定内门框、活动外门框及内压板，活动外门框位于固定内门框的外侧、并在驱动件驱动下进行上下移动。本发明通过设有导向凸缘的固定内门框、设有倾斜槽的活动外门框及设有导向轴的内压板的配合设置，并在驱动件的驱动下，倾斜槽可压动对应的导向轴，使内压板沿倾斜面向内侧移动，并使内压板的后侧面从前侧盖住固定内门框开口，实现固定内门框开口处的自密封。本发明可有效实现固定内门框开口处的自密封，防止进行半导体加工工艺时有害化学液的气雾的溢出，保证了操作人员的安全，同时也保证了晶圆工艺制程的工艺的精准性。

本发明授权一种半导体工艺自密封开关门结构在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺自密封开关门结构，其特征在于：包括固定内门框（1）、活动外门框（2）及内压板（3）； 所述固定内门框（1）安装于工艺腔体开口外侧的工艺腔体上，工艺腔体开口下侧的所述固定内门框（1）的前侧面上凸设有导向凸缘（101），所述导向凸缘（101）的顶面为倾斜面（102），该倾斜面（102）从远离工艺腔体的一侧至靠近工艺腔体的一侧逐渐向下倾斜，所述固定内门框（1）的内侧开设有与工艺腔体开口对应设置的固定内门框开口； 所述活动外门框（2）的下端开口，所述活动外门框（2）位于所述固定内门框（1）的外侧、并在驱动件（4）驱动下进行上下移动；所述活动外门框（2）的左右两侧面分别开设有倾斜槽（201），各所述倾斜槽（201）均从靠近工艺腔体的一侧至远离工艺腔体的一侧逐渐向下倾斜； 所述内压板（3）设置于所述活动外门框（2）的内侧，所述内压板（3）上设有若干导向轴（5），各所述导向轴（5）分别延伸至邻近的所述倾斜槽（201）中； 所述活动外门框（2）下降进行关门时，所述活动外门框（2）及所述内压板（3）先共同下降；所述内压板（3）的下端与所述倾斜面（102）抵接后，所述活动外门框（2）继续下降一定距离，各所述倾斜槽（201）压动对应的所述导向轴（5），使所述内压板（3）沿所述倾斜面（102）向内侧移动，并使所述内压板（3）的后侧面从前侧盖住所述固定内门框开口； 所述活动外门框（2）上升进行开门，此时所述内压板（3）反向运动并远离所述固定内门框开口； 所述固定内门框（1）的后侧面与工艺腔体之间设有密封圈A（7），所述密封圈A（7）围在工艺腔体开口外侧，所述固定内门框（1）的后侧面上开设有用于镶嵌所述密封圈A（7）的镶嵌槽A； 所述固定内门框（1）的前侧面上设有密封圈B（8），所述密封圈B（8）围在所述固定内门框开口外侧； 所述内压板（3）上设有至少两条平行设置的导向轴（5），每个所述导向轴（5）的左右两端分别延伸至一个对应的倾斜槽（201）中，各所述导向轴（5）的长度方向均垂直于所述活动外门框（2）的移动方向； 所述内压板（3）的前侧面上与每个所述导向轴（5）对应的位置设有若干个导向轴安装座（10），每个所述导向轴（5）分别穿过对应的各所述导向轴安装座（10）； 每个所述导向轴（5）上分别设有若干个用于抵住所述导向轴安装座（10）或所述活动外门框（2）的扣环（11）。

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