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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利一种太赫兹广角宽带超构透镜及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115857072B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211489741.1，技术领域涉及：G02B3/00；该发明授权一种太赫兹广角宽带超构透镜及制备方法是由俞叶峰;唐星;肖亦可;丁继根设计研发完成，并于2022-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种太赫兹广角宽带超构透镜及制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种太赫兹广角宽带超构透镜及制备方法，所述超构透镜包括基底以及基底上的超构单元，其中基底上均匀设置多个超构单元；超构单元包括圆柱形结构、圆环形结构、方柱形结构、十字形结构、方环形结构五种；通过改变五种超构单元的占比，获得超构单元在中心频率处的相位、色散相位和透过率。设计方法为：首先构建“相位‑色散”单元库；然后基于修正后的二次非球面相位剖面公式、群时延公式和单元仿真透射率，选取合适的单元进行超构透镜的布阵。制备方法为：首先进行硅片‑玻璃阳极键合，然后进行曝光显影，最后进行深硅刻蚀。本发明制备的超构透镜具有平面化、偏振不敏感、能够实现在大视场范围和宽带内实现汇聚、焦距稳定的优点。

本发明授权一种太赫兹广角宽带超构透镜及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种太赫兹广角宽带超构透镜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1、通过改变五种超构单元的占空比获得超构单元在中心频率处的相位、色散相位和透过率，构建相位-色散单元库，具体如下： 步骤1.1、对五种不同横截面形状的超构单元进行逐一宽带扫描，通过扫描，得到设定结构和设定参数下的超构单元相位与频率的关系，经过线性拟合后获得线性拟合系数R2； 步骤1.2、选取线性拟合系数R2大于设定值的超构单元，获得其在中心频率处的相位色散相位和透过率Ti，组成相位-色散单元库，其中色散相位为修正后的群时延乘以带宽，i代表第i个仿真的超构单元； 步骤1.3、通过角度扫描，得到设定结构和设定参数下的超构单元相位与源入射角度的关系； 步骤2、确定二次非球面超构透镜的数值孔径，从单元库中选出与修正后的相位Φr,ωp和修正后的色散相位Ψr,ωp相匹配的单元进行布阵，并且选取的单元透过率大于70％； 步骤3、计算超构透镜在工作带宽和工作视场内的汇聚效率，具体如下： 汇聚效率η定义为汇聚区域光功率与入射光功率的比值，其中入射光功率定义为透过孔径光阑的光功率，光阑与超表面透镜同尺寸且距超表面透镜出射平面λ2的距离；汇聚区域定义为焦点附近的圆孔径区域，圆孔径大小为艾里斑大小； 步骤4、基于步骤1～步骤3所构造的超构透镜，进行硅片-玻璃阳极键合：使用晶圆键合机将清洁后的玻璃和硅片阳极键合； 步骤5、曝光显影：先对硅片进行表面预处理，旋涂光刻胶，前烘去除光刻胶中的有机溶剂；采用紫外光刻机和镀铬掩模版对光刻胶进行曝光，显影去除曝光部分光刻胶； 步骤6、深硅刻蚀：采用等离子刻蚀设备对样本进行深硅刻蚀，有机清洗去除残胶，得到超构透镜样品。

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