中国科学院上海微系统与信息技术研究所王金玉获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种相控阵阵元、光学相控阵及制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115857094B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211463209.2，技术领域涉及：G02B6/12；该发明授权一种相控阵阵元、光学相控阵及制作方法是由王金玉;蔡艳;伯扬设计研发完成，并于2022-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种相控阵阵元、光学相控阵及制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种相控阵阵元、光学相控阵及制作方法，其中，相控阵阵元包括：硅波导；氧化层，位于所述硅波导的上表面；氮化硅光栅，位于所述氧化层上表面，所述氮化硅光栅的光栅齿的宽度大于所述硅波导的宽度，所述氮化硅光栅的光栅体的宽度小于所述硅波导的宽度；上包层，覆盖在所述氮化硅光栅外围。本发明可以延长有效发射长度，降低发散角提高分辨率，并扩大光束的全半高宽。
本发明授权一种相控阵阵元、光学相控阵及制作方法在权利要求书中公布了：1.一种光学相控阵，其特征在于，具有若干以非周期阵列布置的相控阵阵元，所述相控阵阵元包括： 硅波导； 氧化层，位于所述硅波导的上表面； 氮化硅光栅，位于所述氧化层上表面，所述氮化硅光栅的光栅齿的宽度大于所述硅波导的宽度，所述氮化硅光栅的光栅体的宽度小于所述硅波导的宽度； 上包层，覆盖在所述氮化硅光栅外围； 所述非周期阵列的间距通过如下方式得到： 以扫描范围内的旁瓣抑制比的最小值sll1和最大值sll0作为性能衡量标准，构建适应度函数，并通过粒子群优化算法进行求解，得到非周期阵列的间距；其中，适应度函数为1sll0*sll1。
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