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中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所杜宜璋获国家专利权

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龙图腾网获悉中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所申请的专利一种基于运动方向转换结构的面内敏感轴微机械陀螺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115790560B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211417868.2,技术领域涉及:G01C19/58;该发明授权一种基于运动方向转换结构的面内敏感轴微机械陀螺是由杜宜璋;王永;陈旭辉;张天磊设计研发完成,并于2022-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于运动方向转换结构的面内敏感轴微机械陀螺在说明书摘要公布了:本发明属于面内MEMS陀螺技术领域,公开了一种基于运动方向转换结构的面内敏感轴微机械陀螺,包括:驱动框,科氏质量,检测框,驱动弹簧梁,检测弹簧梁,驱动电极,检测电极;所述驱动框和检测框通过科氏质量和转换结构连接在一起;所述转化结构为衔架结构,在外力作用下的面外上下运动通过衔架结构转化为面内的平面运动;所述的驱动框驱动电极作用下在平面内运动;所述检测框经转化结构后也在平面内运动,检测电极与检测框的相对位置和驱动模态一致。本发明的转换结构可以实现面内陀螺的面外运动耦合到面内进行检测信号的提取,这样的结构可以增大检测梳齿的数量,从而提升信号的增益。

本发明授权一种基于运动方向转换结构的面内敏感轴微机械陀螺在权利要求书中公布了:1.一种基于运动方向转换结构的面内敏感轴微机械陀螺,其特征在于,所述陀螺包括:运动方向转换结构(1),与所述运动方向转化结构相连接的其他耦合模块单元(2). 所述运动方向转换结构(1)包括:连接科氏质量杆(11),两个三角梁(12), 所述其他耦合模块单元包括:驱动框(21),科氏质量(22),检测框(23),驱动弹簧梁(24),检测弹簧梁(25),驱动电极(26),检测电极(27),解耦梁(28),第一连接梁(291),第二连接梁(292),敏感框耦合梁(30); 所述陀螺左右对称;陀螺左右两侧边缘分别设有一个第一连接梁(291),所述第一连接梁中部与陀螺衬底固连; 陀螺左侧连接关系如下:所述三角梁为三角形两条边组成的梁,两个三角梁水平对称设置且开口端向内;两根连接科氏质量杆竖直平行放置,且中部断开形成上梁和下梁;两个三角梁分别位于两根连接科氏质量杆左右两侧,两个三角梁的上端分别与两根连接科氏质量杆下梁连接,两个三角梁的下端分别与两根连接科氏质量杆上梁连接;两根连接科氏质量杆上梁另一侧连接左上科氏质量,两根连接科氏质量杆下梁另一侧连接左下科氏质量;左上科氏质量上方设有左上驱动框,左下科氏质量下方设有左下驱动框,每个科氏质量左右两侧分别通过一个解耦梁与驱动框左右两侧连接;每个驱动框左右两侧分别设有一个矩形开口,每个矩形开口内设置一个驱动弹簧梁;驱动弹簧梁一侧与衬底固定,另一侧与驱动框连接;每个三角梁顶点处分别连接一个检测框;每个检测框内设有检测电极; 左右平面外侧的检测框分别通过检测弹簧梁连接左右两侧第一连接梁的中部;左右平面内侧的两个检测框通过敏感框耦合梁连接;第一连接梁的上下两侧还分别与该侧的两个驱动框连接; 衬底四角分别设有一个驱动电极,每个驱动框的外侧设有梳齿与驱动电极形成梳齿对;驱动电极通过梳齿对产生水平静电力使驱动框运动; 左上驱动框的右侧与右上驱动框的左侧通过两个第二连接梁(292)连接;左下驱动框的右侧与右下驱动框的左侧通过两个第二连接梁连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所,其通讯地址为:710076 陕西省西安市雁塔区锦业路129号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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