海宁波恩斯坦生物科技有限公司董树荣获国家专利权
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龙图腾网获悉海宁波恩斯坦生物科技有限公司申请的专利用于ESD防护的PWELL隔离的栅控二极管触发SCR器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115621277B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211312469.X,技术领域涉及:H10D89/60;该发明授权用于ESD防护的PWELL隔离的栅控二极管触发SCR器件是由董树荣;邓非凡;陈奕鹏;朱信宇;刘红梅设计研发完成,并于2022-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于ESD防护的PWELL隔离的栅控二极管触发SCR器件在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于ESD防护的PWELL隔离的栅控二极管触发SCR器件,包括:通过在常规SCR上增加P+注入区和第二N阱以及利用栅控二极管辅助触发,提出了一种具有小电压回滞幅度和强ESD鲁棒性的技术方案。一方面,该SCR器件具有栅控二极管的辅助触发路径,可降低器件的触发电压并增加电流泄放能力;另一方面,随着ESD应力的增强,该器件位于表面与衬底的SCR触发路径开启,有利于增强器件的ESD电流泄放能力,提高器件的ESD鲁棒性,且较长的基区宽度可提高器件的维持电压,有利于改善ESD保护器件存在的深回滞问题。
本发明授权用于ESD防护的PWELL隔离的栅控二极管触发SCR器件在权利要求书中公布了:1.一种用于ESD防护的PWELL隔离的栅控二极管触发SCR器件,包括P衬底,其特征在于,还包括设置于P衬底表面的第一N阱、P阱、第二N阱,分别嵌入所述第一N阱和所述P阱的第一N+注入区和第二P+注入区,横跨所述第一N阱和所述P阱且嵌入的第一P+注入区,横跨所述P阱和所述第二N阱且嵌入的第三P+注入区,间隔嵌入所述第二N阱的第二N+注入区、第四P+注入区、第三N+注入区; 所述第一N阱表面且所述第一N+注入区和所述第一P+注入区之间设有第一薄栅氧化层及覆盖其上的第一多晶硅栅层,所述第二N阱表面且所述第三P+注入区和所述第二N+注入区之间设有第二薄栅氧化层及覆盖其上的第二多晶硅栅; 由所述第一N+注入区、所述第一N阱、所述第一薄栅氧化层及覆盖其上的第一多晶硅栅层和所述第一P+注入区构成正向栅控二极管D2; 由所述第三P+注入区、所述第二N阱、所述第二薄栅氧化层及覆盖其上的第二多晶硅栅和所述第二N+注入区构成反向栅控二极管D1; 由所述第二N阱和所述第三N+注入区构成寄生电阻Rn1,由所述第四P+注入区、所述第二N阱、所述P阱和所述P衬底构成寄生PNP三极管Q1,由所述第四P+注入区、所述第二N阱、所述第三P+注入区构成寄生PNP三极管Q2,由所述第二P+注入区、所述P阱和所述第三P+注入区构成寄生电阻Rp1,由所述第二N阱、所述P阱和所述第一N阱构成寄生NPN三极管Q3,由P衬底构成寄生电阻Rp2,由所述第一N+注入区与所述第一N阱构成寄生电阻Rn2; 所述SCR器件用于ESD保护时,SCR器件的电路连接包括:所述第一N+注入区与第一金属相连,所述第一多晶硅栅与第二金属相连,所述第一P+注入区与第三金属相连,所述第二P+注入区与第四金属相连,所述第三P+注入区与第五金属相连,所述第二多晶硅栅与第六金属相连,所述第二金属、所述第三金属、所述第五金属和所述第六金属均与第十金属相连,所述第一金属和所述第四金属均与第九金属相连,从所述第九金属引出第一电极,用作器件的金属阴极; 所述第四P+注入区与第七金属相连,所述第三N+注入区与第八金属相连,所述第七金属和所述第八金属均与第十一金属相连,从所述第十一金属引出第二电极,用作器件的金属阳极。
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