常州元晶电子科技有限公司王焕焕获国家专利权
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龙图腾网获悉常州元晶电子科技有限公司申请的专利基于PZT压电材料的微颗粒MEMS传感器及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115420661B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211172207.8，技术领域涉及：G01N15/06；该发明授权基于PZT压电材料的微颗粒MEMS传感器及制备方法是由王焕焕;葛斌;周智健设计研发完成，并于2022-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于PZT压电材料的微颗粒MEMS传感器及制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于微颗粒MEMS传感器技术领域，具体涉及一种基于PZT压电材料的微颗粒MEMS传感器及制备方法，本基于PZT压电材料的微颗粒MEMS传感器包括：梁架和检测组件；其中所述第一电极引线部、第二电极引线部通过检测振动部的电压变化，以获取反应环境中颗粒的浓度；以及所述第一电极引线部、第二电极引线部对振动部施加相应方波交变电压信号，以去除所述振动部表面积累颗粒；本发明能够解决敏感元表面吸附原理检测环境中颗粒浓度时在敏感元吸附颗粒数量达到饱和导致敏感元失能的问题，通过第一电极引线部、第二电极引线部对振动部施加相应方波交变电压信号，使得颗粒从检测组件表面分离，实现自清洁。
本发明授权基于PZT压电材料的微颗粒MEMS传感器及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于PZT压电材料的微颗粒MEMS传感器，其特征在于，包括： 梁架和检测组件；其中 所述梁架的中心开设有检测孔，所述检测组件设置在梁架上，所述检测组件呈S形设置； 所述检测组件分为第一电极引线部、振动部和第二电极引线部，所述第一电极引线部、第二电极引线部固定在梁架上，所述振动部悬空设置在检测孔的上方； 所述第一电极引线部、第二电极引线部通过检测振动部的电压变化，以获取反应环境中颗粒的浓度；以及 所述第一电极引线部、第二电极引线部对振动部施加相应方波交变电压信号，以去除所述振动部表面积累颗粒。
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