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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利共焦测量系统及其测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115655141B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211087384.6，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权共焦测量系统及其测量方法是由王建立;杨禹凯;王之一;王廷煜;糜小涛;杨永强;全胜;刘昌华;姚凯男设计研发完成，并于2022-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本共焦测量系统及其测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种共焦测量系统及测量方法，共焦测量系统通过位置测量单元中的差动共焦测量组件进行位置距离的测量；通过在差动共焦光路的基础上，加入角度测量单元进而构建测角光路，实现对测量位置的同时进行倾斜角度的测量。本发明所提供的技术方案解决了现有技术中差动共焦显微测距的同时不能测倾斜角度的问题。光学系统的光路简单易于实现。角度测量组件分光测角光路结构简单，成本低。实现了在差动共焦测距的同时，获取待测位置倾斜角度信息，在光学形貌测量，尤其在对微小表面缺陷识别中精度更高。

本发明授权共焦测量系统及其测量方法在权利要求书中公布了：1.一种共焦测量系统，其特征在于，包括激光光源、第一分束镜、第二分束镜、聚焦透镜、位置测量单元和角度测量单元；其中， 所述位置测量单元为差动共焦测量组件； 所述角度测量单元包括第三分束镜、第一柱面镜、第一线阵探测器、第二柱面镜和第二线阵探测器； 所述激光光源发出的光束经所述第一分束镜分束透射至所述聚焦透镜进行聚焦，聚焦后的光束入射至待测物表面，经所述待测物表面反射后穿过所述聚焦透镜后，入射至所述第一分束镜，经所述第一分束镜反射至所述第二分束镜进行分光，一部分光束被透射作为角度测量光束入射至所述角度测量单元进行角度测量，另一部分被反射作为位置测量光束入射至所述位置测量单元进行位置测量； 所述角度测量光束入射至所述第三分束镜进行分光，透射光束作为第一角度测量光束依次入射至所述第一柱面镜和所述第一线阵探测器，反射光束作为第二角度测量光束依次入射至所述第二柱面镜和第二线阵探测器，采集所述第一线阵探测器和所述第二线阵探测器的数据，通过对所述数据进行分析，进而获取所述待测物的倾斜角度信息； 所述差动共焦测量组件根据差动共焦测量法获得待测物的位置信息； 结合所述位置信息和所述倾斜角度信息，同时获取所述待测物的面型信息和倾角信息。

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