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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利一种谐振梁加速度计加工误差标定与加速度读出方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115219736B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210792215.6，技术领域涉及：G01P21/00；该发明授权一种谐振梁加速度计加工误差标定与加速度读出方法是由夏国明;李静格;施芹;赵阳;裘安萍设计研发完成，并于2022-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种谐振梁加速度计加工误差标定与加速度读出方法在说明书摘要公布了：本发明开发了一种谐振梁加速度计加工误差标定与加速度读出方法，针对MEMS加工工艺导致的梁宽加工误差，通过标定出实际梁宽，带入谐振器内部结构参数，利用最小二乘法求解出加速度和共模应力。本发明提供的加速度和共模应力的解算不需要额外增加其它设备，仅利用已知参数和求出梁宽加工误差参数带入矩阵中求解出加速度和轴向力的方法。

本发明授权一种谐振梁加速度计加工误差标定与加速度读出方法在权利要求书中公布了：1.一种谐振梁加速度计加速度读出方法，其特征在于，加速度a： 其中f1表示测量出的谐振器1的输出频率；f01表示在自由状态下谐振器1的输出频率；f2表示测量出的谐振器2的输出频率；f02表示在自由状态下谐振器2的输出频率；w1表示谐振梁1的实际宽度；w2表示谐振梁2的实际宽度；l表示谐振梁长度；n表示杠杆位移比；ω表示敏感质量块的基频； 加速度读出过程包括以下步骤： S1、对谐振器1和谐振器2的实际谐振梁宽度w1和w2进行标定；具体包括以下步骤： S1.1、通过重力场翻转法测试获得在+1g和-1g输入情况下谐振器1和谐振器2频率输出的f1，out+1g、f1，out-1g、f2，out+1g和f2，out-1g，根据公式1和2分别计算出谐振器1和谐振器2标度因数k1和k2的值： S1.2、根据公式3和4，代入标度因数测量结果，分别计算出谐振器1和谐振器2的实际谐振梁宽度值w1和w2： 其中，ρ表示单晶硅密度；Acomb表示谐振器梳齿等效面积；E表示硅材料的杨氏模量； S2、求谐振梁加速度计参数：包括敏感质量块的基频ω，测量出的谐振器1的输出频率f1，测量出的谐振器2的输出频率f2，自由状态下谐振器1的输出频率f01，自由状态下谐振器2的输出频率f02； 计算加速度a和轴向力F： 利用最小二乘法求解上述矩阵； 步骤S2具体包括以下步骤： S2.1：通过敲击法获得加速度敏感质量块的基频ω； S2.2：通过实验得出谐振器1和谐振器2的输出频率； S2.3：根据计算出的谐振器1和谐振器2实际谐振梁宽度值w1和w2，利用公式5和6求出在自由状态下的谐振器1和谐振器2的输出频率： 其中，h表示谐振梁厚度；mcomb代表谐振梁梳齿电极质量。

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