中国科学技术大学黄瑞萱获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种高重复频率的极紫外辐射光源及EUV光刻机光源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114995072B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210756914.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种高重复频率的极紫外辐射光源及EUV光刻机光源是由黄瑞萱;李成;贾启卡设计研发完成，并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高重复频率的极紫外辐射光源及EUV光刻机光源在说明书摘要公布了：本发明提供了一种高重复频率的极紫外辐射光源及EUV光刻机光源，其中一部分所述目标激光脉冲入射至兆瓦级光学增益腔内产生兆瓦平均功率的第二红外激光脉冲；另一部分所述目标激光脉冲经过倍频整形处理后入射至常温甚高频光阴极微波电子枪，驱动所述常温甚高频光阴极微波电子枪产生百兆赫兹重复频率的连续皮秒电子束；所述连续皮秒电子束入射至所述兆瓦级光学增益腔内，与所述第二红外激光脉冲进行逆康普顿散射产生极紫外波段辐射；进一步的，通过调节连续皮秒电子束的能量以及激光入射角度，即可使散射光的波长在一定范围内可调，即实现了一种高重复频率的极紫外辐射光源。
本发明授权一种高重复频率的极紫外辐射光源及EUV光刻机光源在权利要求书中公布了：1.一种高重复频率的极紫外辐射光源，其特征在于，所述极紫外辐射光源包括： 掺镱飞秒光钎主振荡器，用于产生百兆赫兹毫瓦功率的第一红外激光脉冲； 啁啾脉冲放大系统，用于对所述第一红外激光脉冲进行处理生成瓦级功率的皮秒激光脉冲； 低温冷却两通道放大器，用于对所述皮秒激光脉冲进行处理生成千瓦以上平均功率的目标激光脉冲； 其中，一部分所述目标激光脉冲入射至兆瓦级光学增益腔内产生兆瓦平均功率的第二红外激光脉冲；另一部分所述目标激光脉冲经过倍频整形处理后入射至常温甚高频光阴极微波电子枪，驱动所述常温甚高频光阴极微波电子枪产生百兆赫兹重复频率的连续皮秒电子束；所述连续皮秒电子束入射至所述兆瓦级光学增益腔内，与所述第二红外激光脉冲进行逆康普顿散射产生极紫外波段辐射。
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