买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利试样观察装置以及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115508398B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210671788.3，技术领域涉及：G01N23/2251；该发明授权试样观察装置以及方法是由土居悠辉;近藤直明;原田实;中山英树;岭川阳平;高木裕治设计研发完成，并于2022-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本试样观察装置以及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种试样观察装置以及方法，关于试样观察装置，提供用户能够简单地提高缺陷检测相关的精度的技术。试样观察装置在试样观察处理之前进行的学习处理中，按由缺陷位置信息表示的缺陷位置，取得第一拍摄条件下的学习用低画质图像，根据拍摄张数的设定值，决定与每个缺陷位置的学习用低画质图像对应起来的多个学习用高画质图像的拍摄张数和多个拍摄点，取得第二拍摄条件下的多个学习用高画质图像，使用学习用低画质图像和多个学习用高画质图像，学习高画质图像推定模型，使用高画质图像推定模型，调整试样观察处理的缺陷检测相关的参数。

本发明授权试样观察装置以及方法在权利要求书中公布了：1.一种试样观察装置，具有： 拍摄装置；以及 处理器，其执行学习高画质图像推定模型的学习处理A和进行缺陷检测的试样观察处理B，其特征在于， 所述学习处理A中，执行以下处理： 处理A1，取得与学习用试样相关的1个以上的学习用缺陷位置； 处理A2，按所述学习用缺陷位置，取得第一拍摄条件下的学习用低画质图像； 处理A3，取得学习用高画质图像的拍摄张数相关的第一设定值； 处理A4，按所述学习用缺陷位置执行以下处理： 处理A4a，根据所述第一设定值，决定所述学习用高画质图像的拍摄张数， 处理A4b，根据在处理A4a中决定出的拍摄张数，决定拍摄所述学习用高画质图像的位置即1个以上的拍摄点， 处理A4c，针对在处理A4b中决定出的1个以上的所述拍摄点的每一个，取得第二拍摄条件下的所述学习用高画质图像； 处理A5，使用所述学习用低画质图像以及所述学习用高画质图像来学习所述高画质图像推定模型；以及 处理A6，使用所述高画质图像推定模型来调整缺陷检测参数， 所述试样观察处理B中，根据调整后的所述缺陷检测参数，执行以下处理： 处理B1，在所述第一拍摄条件下，取得观察对象试样的缺陷位置的第一检查图像；以及 处理B2，根据所述第一检查图像，检测所述观察对象试样的缺陷候补。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社日立高新技术，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。