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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板输送装置和基板输送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115346903B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210461658.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权基板输送装置和基板输送方法是由垰田勇;兒玉俊昭设计研发完成，并于2022-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板输送装置和基板输送方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板输送装置和基板输送方法。在输送基板时，防止与该基板的输送以及在输送目的地的基板的处理有关的异常的产生。装置构成为包括：支承部，其用于支承基板；移动机构，其使所述支承部沿横向移动，以将所述基板从分别载置该基板的第1载置部向第2载置部输送；以及超声波传感器，其设于所述支承部，以检测在所述第1载置部载置的所述基板。

本发明授权基板输送装置和基板输送方法在权利要求书中公布了：1.一种基板输送装置，其中， 该基板输送装置包括： 支承部，其用于支承基板； 移动机构，其使所述支承部沿横向移动，以将所述基板从分别载置该基板的第1载置部向第2载置部输送；以及 超声波传感器，其设于所述支承部，以检测在所述第1载置部载置的所述基板， 其中，所述超声波传感器朝向上方照射超声波， 其中，所述超声波传感器设于所述支承部，以检测相对于在所述第1载置部载置的所述基板的距离， 其中，以向在所述第1载置部载置的所述基板的互相不同的位置照射超声波的方式利用所述移动机构使所述支承部移动， 该基板输送装置设有输送确定部，该输送确定部基于从照射所述超声波的各位置检测的距离来确定是否从所述第1载置部输送该基板， 其中，所述移动机构动作，以进行如下这样的第1步骤：在从所述超声波传感器照射有超声波的状态下，使所述支承部从所述基板的外侧的输送区域向所述基板的下方的在俯视时与该基板重叠的位置移动， 所述输送确定部基于利用所述第1步骤检测的距离来确定是否从所述第1载置部输送所述基板， 其中，在将所述第1步骤中的所述支承部的移动方向设为前方时，所述超声波传感器包括分别设于所述支承部的左侧、右侧的第1超声波传感器、第2超声波传感器， 所述输送确定部基于利用所述第1步骤检测的所述基板的周端位置来获取所述基板的中心的位置， 将以在俯视时使所述第1超声波传感器沿着构成以所述基板的中心为中心的圆的左侧的第1圆弧移动并利用该第1超声波传感器获取相对于该基板的周缘部的距离的方式使所述支承部移动的步骤、以及、以在俯视时使所述第2超声波传感器沿着构成所述圆的右侧的第2圆弧移动并利用该第2超声波传感器获取相对于该基板的周缘部的距离的方式使所述支承部移动的步骤中的一者作为第2步骤进行，将另一者作为接着所述第2步骤的第3步骤进行， 所述输送确定部基于利用所述第2步骤和所述第3步骤获取的距离来确定是否从所述第1载置部输送所述基板。

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