环球晶圆股份有限公司梁修启获国家专利权
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龙图腾网获悉环球晶圆股份有限公司申请的专利晶圆处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115519686B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111661128.9，技术领域涉及：B28D5/02；该发明授权晶圆处理设备是由梁修启设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆处理设备，包括施压组件、转动机构、控制元件及热源。施压组件包括具有第一工作面的第一加压头和具有第二工作面的第二加压头。转动机构与施压组件连接。控制元件电性连接至转动机构。热源设置于施压组件旁。晶圆处理设备可调整第一加压头的第一工作面及第二加压头的第二工作面与参考平面的夹角，以使修复晶圆几何缺陷的效果佳。
本发明授权晶圆处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆处理设备，其特征在于，包括： 施压组件，包括： 第一加压头，具有第一工作面； 第二加压头，具有第二工作面，其中所述第一加压头及所述第二加压头适于相互靠合，以将晶圆夹置于所述第一工作面与所述第二工作面之间，并沿施压方向对所述晶圆施压； 第一加压轴，与所述第一加压头连接；以及 第二加压轴，与所述第二加压头连接，其中所述第一加压轴的轴向及所述第二加压轴的轴向实质上平行于所述施压方向,所述第一加压轴于所述晶圆上的投影位置与所述第二加压轴于所述晶圆上的投影位置错开； 转动机构，与所述施压组件连接； 控制元件，适于令所述转动机构带动所述第一加压头及所述第二加压头转动，以调整所述第一工作面及所述第二工作面与水平面的夹角，其中所述水平面的法线方向与所述施压方向实质上平行；以及 热源，适于加热被夹置于所述第一工作面与所述第二工作面之间的所述晶圆。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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